Chip 4的“漏洞”

作者：暢秋

美國可能對韓國企業(yè)在華晶圓廠用先進半導(dǎo)體設(shè)備出口網(wǎng)開一面，這會對中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場產(chǎn)生怎樣的影響？

美國對于出口到中國大陸的高端半導(dǎo)體產(chǎn)品限制越來越嚴(yán)格，最新的消息是AMD和英偉達的高端GPU也被列入了清單。不止是芯片級產(chǎn)品，對于來自美國的高端半導(dǎo)體設(shè)備，中國大陸已經(jīng)難以進口新產(chǎn)品，只能考慮其它方法和途徑。

此前，美國不斷加緊先進半導(dǎo)體設(shè)備出口到中國大陸的管制力度，初期鎖定的是以中芯國際為代表的邏輯芯片晶圓代工廠，特別是用于14nm以下先進制程的半導(dǎo)體設(shè)備，受到嚴(yán)格管控。后來又?jǐn)U大了限制范圍，從邏輯芯片延伸到了存儲芯片，據(jù)悉，美國將對華禁售制造128層3D NAND閃存所需的設(shè)備，這對于中國大陸幾家“國字號”的存儲芯片IDM企業(yè)來說是個不小的挑戰(zhàn)。

不過，近期，美國似乎對設(shè)在中國大陸的一部分晶圓廠開了一道口子，準(zhǔn)許購買美國的先進半導(dǎo)體設(shè)備，不過，這些晶圓廠不包括中國本土廠商。據(jù)韓國媒體報道，美國政府對中國實施的半導(dǎo)體設(shè)備出口管制，將豁免韓國芯片廠商，允許三星電子和SK海力士在中國大陸晶圓廠進口美國先進設(shè)備。據(jù)悉，美國商務(wù)部直接向韓國政府解釋，美方針對14nm以下先進制程芯片制造設(shè)備出口管制措施，不會影響韓國芯片廠商在中國大陸的運營。

韓國成為主角

最近，美國一直在推動其與日本、韓國、中國臺灣組成“芯片四方聯(lián)盟”（Chip 4），日本是美國的死黨，為其馬首是瞻，而韓國的狀況和態(tài)度越來越受到關(guān)注，相對于日本，韓國對加入Chip 4有更多顧慮，主要原因在于其對中國大陸的半導(dǎo)體產(chǎn)品出口依賴度很高，不得不考慮中國的感受及其在中國市場的巨大商業(yè)利益。

韓國約有6成半導(dǎo)體產(chǎn)品出口到中國（含香港），2021年，韓國半導(dǎo)體產(chǎn)品對中國出口金額達768億美元。韓國工商會的數(shù)據(jù)顯示，2021年，在韓國半導(dǎo)體產(chǎn)品出口總額中，有39.7%來自中國，而在2000年，這一比例僅為3.2%，可見其半導(dǎo)體業(yè)對中國依賴度之高，且呈現(xiàn)出較為快速的發(fā)展態(tài)勢，未來，這一比例還將上升。除半導(dǎo)體外，韓國出口到中國的其它技術(shù)密集型行業(yè)產(chǎn)品（如精密機械和顯示器）的量也在增長。

作為韓國半導(dǎo)體業(yè)的兩大龍頭企業(yè)，三星電子和SK海力士對中國大陸的依賴度很高，這兩家在中國大陸的晶圓廠規(guī)模，僅次于它們在韓國本土的。這些晶圓廠主要生產(chǎn)NAND Flash、DRAM芯片和模組。三星電子在西安和蘇州建有兩座NAND Flash芯片工廠，SK海力士則在無錫、重慶和大連建有生產(chǎn)線。

三星電子西安NAND Flash工廠是其唯一的海外閃存廠，預(yù)計總投資為70 億美元，但在一期項目擴建后，整體投資金額達到了108.7 億美元。今年4月，三星電子在西安擴建的NAND Flash工廠全面投產(chǎn)。

三星電子西安NAND Flash第二工廠每月可加工13萬片12英寸晶圓，比第一工廠每月高出1萬片。這也使得三星電子在西安生產(chǎn)的NAND Flash產(chǎn)量達到了25萬片/月，在目前三星電子全球NAND Flash總產(chǎn)量中的占比達到了40%以上，同時在全球所有NAND Flash廠商總產(chǎn)能中的占比也達到了10%。

基于以上巨大商業(yè)利益，韓國政府對于加入Chip 4非常謹(jǐn)慎。據(jù)韓聯(lián)社報道，8月，韓國副總理兼企劃財政部長與中國發(fā)改委主任舉行了第17屆韓中經(jīng)濟部長會議，首度就深化供應(yīng)鏈合作達成共識，同時決定新設(shè)協(xié)調(diào)磋商機制，透過此舉，韓國將確保在供應(yīng)鏈不穩(wěn)定時，保持與中國溝通。該磋商機制可預(yù)防供應(yīng)鏈中可能出現(xiàn)的各種誤會，而且，即使出了問題，也能夠迅速投入磋商解決機制。

韓國業(yè)界及相關(guān)學(xué)者認(rèn)為，加入Chip 4是不可避免的結(jié)果，參與各方可能制定相關(guān)規(guī)范，以取得行業(yè)優(yōu)勢，其中，美國擁有多數(shù)半導(dǎo)體技術(shù)，韓國半導(dǎo)體產(chǎn)線所用設(shè)備也多依賴美國、日本，若美國實施出口限制，可能從根本上影響韓國生產(chǎn)，同時，若失去中國市場，韓國與美國談判籌碼將更有限。

韓國半導(dǎo)體業(yè)與美國的聯(lián)系也越來越緊密，除了依賴美國半導(dǎo)體設(shè)備之外，三星電子和SK海力士也在美國擴建晶圓廠。

目前，三星電子正在德克薩斯州泰勒市建造一家價值170億美元的晶圓廠。此外，有消息稱，未來20年，三星電子可能投資近2000億美元，在美國德克薩斯州建11座新晶圓廠，其中，兩家工廠可能分布在德州首府奧斯汀，其余9家可能在德州的泰勒。不過，這一消息還未得到官方證實。SK集團則計劃在美國投資220億美元，其中150億用于半導(dǎo)體項目，據(jù)悉是要建設(shè)一座先進的芯片封裝廠，于2023年第一季度破土動工。預(yù)計三星電子和SK集團的項目都將獲得美國政府的半導(dǎo)體優(yōu)惠政策和補貼。

不過，美國CHIPS法案禁止獲得美國政府補貼的公司在中國大陸建造涉及先進半導(dǎo)體技術(shù)的晶圓廠，而三星電子和SK海力士都在中國設(shè)有存儲芯片廠，且新擴建的產(chǎn)能要生產(chǎn)先進制程芯片。正因如此，為了讓韓國更安心地加入Chip 4，美國才開了一道口子，準(zhǔn)許韓國這兩家芯片大廠購買美國的先進半導(dǎo)體設(shè)備，用于它們位于中國大陸新產(chǎn)能的擴充。

會引發(fā)連鎖反應(yīng)？

在購買先進半導(dǎo)體設(shè)備方面，美國對韓國在華晶圓廠的網(wǎng)開一面，對于各方都是個不錯的消息。

首先，直接受益的就是三星電子和SK海力士，這兩家在中國大陸的存儲芯片產(chǎn)量非常大，且正在向先進制程工藝演進，若沒有相應(yīng)的先進設(shè)備，場面會非常尷尬，顯然，美國也不想看到其主要盟友陷入窘境。

其次，對于美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商而言，可以拓展本來就應(yīng)該正常進行的先進設(shè)備生意版圖。顯然，對華禁售先進半導(dǎo)體設(shè)備不符合美國相關(guān)企業(yè)的利益，美國是半導(dǎo)體設(shè)備頭號強國，美國設(shè)備廠商的在華利益是最多的。如果對華禁售，受損最大的是AMAT、LAM、KLA等公司。

再有，對于中國大陸地區(qū)所有晶圓廠而言，對獲得先進設(shè)備有了更加樂觀的預(yù)期。

另外，關(guān)于對華政策，歐洲和日本一直都跟隨美國的步伐，此次，美國首先對中國大陸非本土企業(yè)晶圓廠用先進半導(dǎo)體設(shè)備開綠燈，客觀上會起到一定的示范作用，對于歐洲和日本先進半導(dǎo)體設(shè)備進入中國大陸晶圓廠有了樂觀的預(yù)期。

歐洲方面，荷蘭光刻機巨頭ASML一直想進一步提升其在中國大陸的業(yè)務(wù)水平，但近些年美國一直希望該公司不要向中國大陸出口先進光刻機，特別是EUV設(shè)備，ASML已經(jīng)停止發(fā)貨，在此基礎(chǔ)上，美國希望該公司進一步限制DUV設(shè)備對華出口，這引起了ASML的不滿，今年7月，該公司CEO溫彼得（Peter Wennink）表示，“我認(rèn)為我們需要認(rèn)識到，中國大陸是半導(dǎo)體行業(yè)的重要參與者，尤其是在成熟制程和主流半導(dǎo)體領(lǐng)域，中國大陸是全球市場非常重要的供應(yīng)商，所以我們必須小心行事。”目前，荷蘭政府并未限制ASML對華出口DUV。2022年一季度，ASML有34%的營收來自中國大陸。

今年8月，日本最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商東京電子（TEL）財務(wù)部總經(jīng)理 Hiroshi Kawamoto說：“中國大陸是一個非常重要的市場，占我們銷售額的四分之一以上，我們認(rèn)為中國大陸市場將繼續(xù)增長。”他坦言，東京電子非常擔(dān)心美國擴大對中國的高科技出口管制，因為中國是這家日本半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的關(guān)鍵市場。

受疫情影響，2022年第二季度，東京電子來自中國大陸的營收大幅下滑39%，在主要市場中降幅最大，不過，Hiroshi Kawamoto表示，對中國大陸的發(fā)貨正在恢復(fù)，東京電子有信心在今年第三季度彌補4-6月的空缺，整個財年（2022年4月-2023年3月）的業(yè)績預(yù)期維持不變。

可見，作為歐洲、日本最大的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，ASML、東京電子在中國大陸市場的營收占比很高，且對未來發(fā)展都有很高的期待，同時，它們都對美國的對華出口限制政策感到擔(dān)憂，并不希望看到目前的局面進一步惡化。此次，美國對于韓國在華晶圓廠進口先進設(shè)備的放行，對于歐洲和日本半導(dǎo)體設(shè)備大廠來說，無疑是個積極信號，這將更有利于在華晶圓廠獲得更多、更好的先進設(shè)備，雖然不一定是中國本土企業(yè)，但就整個中國半導(dǎo)體市場而言，作用是正向的。

利好or利空國產(chǎn)先進設(shè)備研發(fā)？

近些年，由于受到美國打壓，無法獲得高端芯片和半導(dǎo)體設(shè)備，給中國大陸的電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來了不小沖擊，同時也逼迫國產(chǎn)芯片和設(shè)備自立自強。

近兩年，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備利用率越來越高。據(jù)德邦證券統(tǒng)計，今年4月，在各家晶圓廠采購名單上，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)數(shù)量為67臺，中標(biāo)率高達62%，十分罕見。北方華創(chuàng)、中微公司、屹唐、芯源微等中標(biāo)設(shè)備數(shù)量居前。今年1~4月開標(biāo)的401臺設(shè)備中，源自中國大陸廠商的共計97臺，占比達24.2%。其中，干法去膠設(shè)備國產(chǎn)率高達71%，刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化占比超過一半。綜合來看，國內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備環(huán)節(jié)話語權(quán)提升，有的環(huán)節(jié)甚至成為主要設(shè)備供應(yīng)商。更重要的是，內(nèi)資晶圓廠對國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證的導(dǎo)入期顯著縮短，以前是1~3年，現(xiàn)在，有的產(chǎn)品只需要6個月。

這就是國外對華限制的結(jié)果，逼迫國產(chǎn)設(shè)備快速成長，同時，本土晶圓廠也愿意給國產(chǎn)設(shè)備更多的試錯和成長空間。不過，目前階段，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備大都聚集在中低端產(chǎn)品領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)的中高端設(shè)備鳳毛麟角，在美國的打壓和限制下，很多本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商都在摩拳擦掌，在先進半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)方面不斷加大投入。

然而，此次，美國對于韓國在華晶圓廠用先進設(shè)備出口網(wǎng)開一面，釋放出的信號，對于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，特別是中高端設(shè)備的研發(fā)來說，會產(chǎn)生怎樣的影響呢？美國的政策一向是有打擊，有拉攏，有張也有弛，雖然此次只針對韓國在華晶圓廠，中國內(nèi)資晶圓廠依然無法從美國進口先進半導(dǎo)體設(shè)備，但這樣的口子一開，難免會在市場產(chǎn)生更多的運作空間，這在一定程度上對于國產(chǎn)中高端設(shè)備的研發(fā)而言，是有一定利空影響的，而且，如前文所述，如果今后美日歐相關(guān)限制進一步放松的話，利空影響恐怕會更多。希望本土廠商在中高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)方面能一直保持沖勁兒，不受這些因素干擾，早日實現(xiàn)中高端設(shè)備替代。