AFM

• Park Systems擴展FX大型樣品AFM產(chǎn)品線

  /美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國半導體展覽會上推出了擴展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導體展覽會（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術的Park

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  02/20 08:31

  半導體 晶圓制造

  
• 為什么器件失效分析需要AFM機臺？

  失效分析是確保集成電路和微電子器件可靠性、優(yōu)化制造工藝的重要環(huán)節(jié)。隨著技術的進步，特別是進入5nm、7nm等先進工藝節(jié)點后，器件失效模式變得更為復雜，要求我們使用各種高精度的分析工具進行失效定位和機理分析。原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，簡稱AFM）就是其中一種重要的分析工具。

  老虎說芯

  1478

  2024/10/08

  半導體工藝 AFM

  

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