MEMS器件

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  • AMEYA360：士蘭微“MEMS器件及其制造方法”專利獲授權(quán)
    天眼查顯示，杭州士蘭微電子股份有限公司近日取得一項名為“MEMS器件及其制造方法”的專利，授權(quán)公告號為CN109665488B，授權(quán)公告日為2024年7月19日，申請日為2018年12月29日。 本申請公開了一種MEMS器件及其制造方法。該制造方法包括：形成CMOS電路;以及在CMOS電路上形成MEMS模塊，CMOS電路與MEMS模塊連接，用于驅(qū)動MEMS模塊，其中，形成MEMS模塊的步驟包括：形
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    2024/08/05

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