國(guó)產(chǎn)芯片工規(guī)化、車(chē)規(guī)化正在拉動(dòng)溫度卡盤(pán)系統(tǒng)升級(jí)

2018年，新一輪科技貿(mào)易戰(zhàn)打響，在中國(guó)市場(chǎng)深刻地感受到供應(yīng)鏈問(wèn)題帶來(lái)的影響之際，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體廠(chǎng)商開(kāi)始大量從消費(fèi)類(lèi)電子轉(zhuǎn)向工業(yè)電子、車(chē)規(guī)電子的研發(fā)和制造升級(jí)。

然而，轉(zhuǎn)型絕非易事，除了研發(fā)能力的考驗(yàn)外，生產(chǎn)制造流程的改變也是不可忽視的挑戰(zhàn)。比如，在消費(fèi)電子封裝測(cè)試過(guò)程中，對(duì)測(cè)試環(huán)境的要求是相對(duì)寬泛的，很多企業(yè)在室溫或者高低溫環(huán)境下獲得的測(cè)試數(shù)據(jù)已經(jīng)不能真實(shí)體現(xiàn)在每個(gè)溫度環(huán)節(jié)芯片的具體表現(xiàn)，原因主要是芯片上電后發(fā)熱，同時(shí)芯片發(fā)熱的部位是不均勻的，這導(dǎo)致測(cè)試出來(lái)的數(shù)據(jù)誤差較大。

如何解決這個(gè)問(wèn)題呢？事實(shí)上，國(guó)外早有成熟的應(yīng)對(duì)方案，只是2019年之前國(guó)內(nèi)的市場(chǎng)反應(yīng)不佳，這和我國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展進(jìn)程息息相關(guān)。

圖 | ERS electronic公司首席執(zhí)行官Giai-Miniet

ERS electronic公司首席執(zhí)行官表示：“早在1970年，ERS electronic就面向IBM對(duì)4位單片機(jī)高溫測(cè)試的需求，推出了第一代溫度卡盤(pán)；到1990年代，又將液冷升級(jí)為更加環(huán)保的壓縮空氣式溫度卡盤(pán)系統(tǒng)；并在2010年代，面向?qū)囟雀鼮?strong>敏感的傳感器和模擬器件領(lǐng)域，又推出了基于熱傳導(dǎo)的高均勻性溫度卡盤(pán)，溫度控制精度可達(dá)±0.1℃。”

圖 | 熱拆鍵合/翹曲矯正一體機(jī)ADM330

當(dāng)然，在扇出型晶圓的封測(cè)環(huán)節(jié)，精準(zhǔn)、均勻的溫度控制系統(tǒng)還會(huì)帶來(lái)幾大好處，即：減少晶粒漂移和殘膠，解決部分因操作引發(fā)的翹曲問(wèn)題。為此，ERS在2000年代研發(fā)出了翹曲矯正技術(shù)，并將其融入到了ADM330熱拆鍵合機(jī)，大大減少了先進(jìn)封裝技術(shù)領(lǐng)域的翹曲問(wèn)題，提高了芯片制造的良率。

圖 | ERS electronic公司副總裁兼中國(guó)區(qū)負(fù)責(zé)人周翔

ERS electronic公司副總裁兼中國(guó)區(qū)負(fù)責(zé)人周翔表示：“面向不同的應(yīng)用領(lǐng)域，ERS electronic推出了不同特性的溫度卡盤(pán)，比如廣受中國(guó)客戶(hù)喜愛(ài)的，面向新能源領(lǐng)域中SiC、GaN元器件封測(cè)的高壓、高溫卡盤(pán)；面向傳感器、IoT和5G基站領(lǐng)域的高精準(zhǔn)度、高均勻性卡盤(pán) ；面向磁傳感器和霍爾傳感器封測(cè)的免磁卡盤(pán)；以及FAB廠(chǎng)所需的，面向10nm以下工藝WAT測(cè)試的低噪聲卡盤(pán)等?！?/p>

此外，周翔透露：“當(dāng)前中國(guó)已經(jīng)成為ERS electronic的第一大市場(chǎng)，占據(jù)40%的營(yíng)收份額。而在2018年前，ERS electronic剛進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)時(shí)并沒(méi)有引起多大的反響，因此這6年來(lái)的高增長(zhǎng)主要?dú)w功于中國(guó)市場(chǎng)的變化、ERS electronic高品質(zhì)的設(shè)備，以及優(yōu)秀的本地化服務(wù)”。

如今，ERS electronic在獨(dú)立溫度卡盤(pán)市場(chǎng)的份額約為40%-50%，全球累積銷(xiāo)量超過(guò)10000臺(tái)，這主要是測(cè)試機(jī)升級(jí)改造帶來(lái)的機(jī)會(huì)。有小伙伴要問(wèn)，累積10000多臺(tái)感覺(jué)不多啊，事實(shí)上一臺(tái)探針設(shè)備的售價(jià)約為20-30萬(wàn)美金，而溫度卡盤(pán)在其中的占比很高；此外，好的溫度卡盤(pán)的壽命是很長(zhǎng)的，就ERS electronic橫跨50多年發(fā)貨的近10000多臺(tái)卡盤(pán)中，依舊有85%的設(shè)備還在工作中。

周翔表示：“截至目前，中國(guó)有數(shù)千臺(tái)探針設(shè)備在工作，然而對(duì)于工規(guī)化和車(chē)規(guī)化要求，大部分的測(cè)試條件都不夠，因此有些資金寬裕的企業(yè)會(huì)選擇花幾十萬(wàn)美金購(gòu)買(mǎi)新機(jī)，而更多的企業(yè)會(huì)選擇花更少的錢(qián)進(jìn)行舊機(jī)改造，包括溫度卡盤(pán)替換、增添制冷機(jī)和部分系統(tǒng)線(xiàn)路改造。這些對(duì)于生產(chǎn)銷(xiāo)售探針設(shè)備整機(jī)的原廠(chǎng)來(lái)說(shuō)，售后并不會(huì)覆蓋到，但對(duì)于ERS electronic來(lái)說(shuō)，是一個(gè)充滿(mǎn)潛力的市場(chǎng)?！?/p>

前不久ERS electronic推出了新機(jī)Wave3000，這是一款輕量級(jí)的翹曲檢測(cè)設(shè)備，分為手動(dòng)版和全自動(dòng)版，手動(dòng)版主要面向芯片設(shè)計(jì)企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)，全自動(dòng)版主要面向封測(cè)廠(chǎng)等批量生產(chǎn)的企業(yè)。據(jù)悉，Wave3000對(duì)比其它設(shè)備商的產(chǎn)品，在晶圓制造后道環(huán)節(jié)更具優(yōu)勢(shì)，速度會(huì)更快。

此外，ERS electronic今年還將在上海成立實(shí)驗(yàn)室，除了設(shè)備展示以外，讓有需求的企業(yè)和機(jī)構(gòu)能夠體驗(yàn)后下單，而非開(kāi)盲盒，這對(duì)于很多芯片設(shè)計(jì)企業(yè)和IDM lite企業(yè)來(lái)說(shuō)是非常重要的。