芯耀
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近日，第二十五屆中國專利獎評選結果正式揭曉。本屆金獎評選中雖未有半導體企業(yè)上榜，但銀獎名單中共出現(xiàn)五家半導體企業(yè)的身影，展現(xiàn)了行業(yè)的創(chuàng)新活力。這五家企業(yè)分別是中微半導體設備（上海）股份有限公司深圳新聲半導體有限公司、華海清科股份有限公司、廣東風華高新科技股份有限公司以及山東天岳先進科技股份有限公司（以下分別簡稱“中微公司、新聲半導體、華海清科、風華高科、天岳先進”）。
其中，中微公司、華海清科和風華高科三家為已經上市的龍頭企業(yè)，另外兩家則是快速崛起的行業(yè)新星，分別在國產濾波器和碳化硅材料領域展現(xiàn)了獨特優(yōu)勢。
- 中微公司
中微公司在刻蝕設備領域擁有顯著市場優(yōu)勢，已打入5nm制程。目前該公司針對邏輯和存儲芯片制造中最關鍵刻蝕工藝的多款設備已進入量產驗證階段，針對超高深寬比刻蝕的大功率400kHz偏壓射頻的PrimoUD-RIE已在生產線驗證出具有刻蝕≥60:1深寬比結構的量產能力，同時公司儲備更高深寬比結構（≥90:1）刻蝕的前衛(wèi)技術。此外，公司晶圓邊緣Bevel刻蝕設備完成開發(fā)，即將進入客戶驗證。
在薄膜沉積設備領域，中微公司正試圖通過差異化競爭和技術創(chuàng)新來擴大自己的市場規(guī)模和版圖，其鎢系列薄膜沉積產品可覆蓋存儲器件所有鎢應用，并已完成多家邏輯和存儲客戶對CVD/HAR/ALDW鎢設備的驗證，取得了客戶訂單。
此次，中微半導體設備（上海）股份有限公司聯(lián)合南昌中微半導體設備有限公司研發(fā)出了“一種化學氣相沉積裝置及其清潔方法”（專利號：ZL201510218357.1），成功解決了設備清潔難題，為高效生產提供了技術支持，鞏固了其在半導體制造設備領域的技術領先地位。
- 新聲半導體
成立僅三年的深圳新聲半導體有限公司，憑借卓越的芯片研發(fā)與制造能力，在模擬芯片領域豎起了品牌壁壘。
此次，新聲半導體在濾波器技術領域的創(chuàng)新表現(xiàn)亮眼，憑借“體聲波諧振器”（專利號：ZL202210796817.9）榮獲中國專利獎銀獎。
該專利技術突破了傳統(tǒng)設計的瓶頸，通過創(chuàng)新實現(xiàn)了平坦的電極和壓電薄膜結構，顯著提升了諧振器的品質因數(shù)。該技術已經成功應用于手機、平板電腦、物聯(lián)網設備及可穿戴設備等多種通信產品，為5G通信提供了更加穩(wěn)定和高效的射頻解決方案。
依靠創(chuàng)新力量和優(yōu)秀的市場表現(xiàn)，新聲半導體正快速躋身全球體聲波諧振器技術的領先行列，成為國產濾波器領域的重要力量。
- 華海清科
華海清科是國內唯一一家實現(xiàn)12英寸CMP設備量產的廠商，其12英寸CMP設備Universal-300系列可支持支持28nm及以上制程，同時部分型號如Universal-300X和Universal-300T正在14nm及以下制程進行驗證。
此次，華海清科股份有限公司的“化學機械拋光機及具有它的化學機械拋光設備”（專利號：ZL201010246628.1）填補了國內CMP設備技術空白，為高端芯片制造的關鍵工藝提供了可靠支持，助力國產化進程加速。
- 風華高科
風華高科是被動元件國內龍頭企業(yè)，在MLCC等領域表現(xiàn)不俗，公司主營產品已廣泛應用于消費電子、家電、通訊、汽車、工控新能源、PC、無人機、醫(yī)療電子等領域。
此次，廣東風華高新科技股份有限公司憑借“一種抗硫化片式電阻器及其制造方法”（專利號：ZL201810958732.X）榮獲銀獎。該技術顯著提高了片式電阻器在復雜環(huán)境下的穩(wěn)定性，鞏固了風華高科在電子元件領域的市場地位。
- 天岳先進
天岳先進是國際上少數(shù)在半絕緣型碳化硅襯底和導電型碳化硅襯底領域同時具有知名度的襯底廠商，實現(xiàn)了從 2 英寸襯底到 8 英寸襯底的制備，并具備 8 英寸碳化硅襯底的規(guī)模化生產能力，在全球市場上占據(jù)了領先地位。其客戶覆蓋了全球前十大功率半導體企業(yè)的一半以上，包括英飛凌、博世、安森美等國際一線功率器件大廠。
此次，碳化硅襯底供應商天岳先進憑借“一種高平整度、低損傷大直徑單晶碳化硅襯底”（專利號：ZL201811205291.2）獲得銀獎。
值得一提的是，該公司近日表示，其正在推進港股IPO進程，借助資本市場的力量進一步推動技術研發(fā)和市場拓展。
除了以上五家獲得銀獎的半導體企業(yè)外，在610個優(yōu)秀獎項中還有北方華創(chuàng)、華潤微、芯?？萍肌B門三安、富滿微、上海新昇等多家半導體領軍企業(yè)的身影。
據(jù)了解，中國專利獎是由國家知識產權局和世界知識產權組織共同主辦的我國專利領域最高獎項，是專門獎勵專利權人和發(fā)明人的國家級獎項，分為金獎、銀獎和優(yōu)秀獎三類。獎項評選注重知識產權創(chuàng)造、保護與運用，對推動技術創(chuàng)新和經濟高質量發(fā)展具有重要意義。
對于半導體這樣典型的硬科技行業(yè)而言，技術創(chuàng)新不僅是企業(yè)發(fā)展的核心驅動力，更是提升國際競爭力的關鍵。在中國專利獎的舞臺上，越來越多的半導體企業(yè)通過專利技術的突破和商業(yè)化應用，展現(xiàn)出強勁的研發(fā)能力和發(fā)展?jié)摿?。這些努力將為中國半導體產業(yè)在全球競爭中注入源源不斷的動力。
本土半導體產業(yè)的各個細分領域，內卷現(xiàn)象層出不窮，但無盡的內卷顯然無法擔起整個國產半導體產業(yè)鏈前行的重任，唯有投入研發(fā)、不斷創(chuàng)新才是中國半導體行業(yè)每一個細分領域的共同出路。
