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首臺（套）重大技術(shù)裝備認定（即首臺套認定）是國家及地方政府對首次研發(fā)并投入市場應(yīng)用的重大技術(shù)裝備進行官方認證，旨在鼓勵企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級，推動高端裝備制造業(yè)發(fā)展。獲得認定的產(chǎn)品通常具有創(chuàng)新性、先進性和市場潛力，可享受政策支持和資金扶持，具有示范引領(lǐng)作用。
回望2024年，國內(nèi)多個省份紛紛發(fā)布了首臺套認定名單，其中多個碳化硅等第三代半導(dǎo)體裝備上榜，詳情請看：
盤點上榜“首臺套”的SiC設(shè)備
2024年，廣東、湖南、浙江、江蘇、山東及黑龍江等多個省份的認定中包含了多個SiC等第三代半導(dǎo)體裝備：
廣東省
2024年6月，廣東省發(fā)布首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄。在精密儀器設(shè)備領(lǐng)域，SiC 晶圓襯底缺陷自動檢測設(shè)備在列（單位：臺）。據(jù)介紹，該設(shè)備適用于4、6、8吋SIC襯底；檢出率≥99%；最小分辨率：顆粒物≤0.2μm；劃傷≤1μm。
值得一提的是，該設(shè)備或?qū)⒂匈Y格獲得不超過500萬元資金獎勵——廣東省將對符合《指導(dǎo)目錄》要求的裝備產(chǎn)品，實現(xiàn)銷售后對研制企業(yè)進行獎勵，原則上按單臺（套）裝備售價的30%給予獎勵，成套裝備獎勵最高不超過900萬元/套，單臺裝備、單批總成或核心部件獎勵最高不超過500萬元/臺（批）。
湖南省
湖南省工業(yè)和信息化廳在2024年10月8日公布了2024年度湖南省首臺（套）重大技術(shù)裝備認定產(chǎn)品名單，共認定50項技術(shù)裝備產(chǎn)品。這些產(chǎn)品中包括了湖南維尚科技有限公司旗下的第三代大功率半導(dǎo)體基板燒結(jié)裝備。
浙江省
浙江省經(jīng)濟和信息化廳于2024年12月24日公示了2024年度浙江省首臺（套）裝備認定結(jié)果，認定中關(guān)于SiC等第三代半導(dǎo)體的裝備包括：
1）SiC功率器件動態(tài)偏壓可靠性測試裝備，申報企業(yè)為杭州飛仕得科技股份有限公司，裝備類別為整機裝備；
2）SiC集成電路高端電化學(xué)機械拋光設(shè)備，申報企業(yè)為杭州眾硅電子科技有限公司，裝備類別為整機裝備；
3）8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備，來自西湖儀器（杭州） 技術(shù)有限公司，裝備類別為成套設(shè)備。
江蘇省
江蘇省工業(yè)和信息化廳在2024年9月19日公示了2024年江蘇省首臺（套）重大裝備名單，其中來自芯三代半導(dǎo)體科技（蘇州）股份有限公司的PE1T51-6011AB 六英寸垂直式碳化硅外延設(shè)備榜上有名。
此外，江蘇省還發(fā)布了關(guān)于加快首臺（套）裝備研發(fā)應(yīng)用的政策舉措，自2025年1月1日起實施。
山東省
山東省工業(yè)和信息化廳在2024年12月16日公示了2024年度山東省首臺（套）技術(shù)裝備生產(chǎn)企業(yè)及產(chǎn)品名單，名單中包括碳化硅金剛線切片機（GC-SCDW6500），申報企業(yè)為青島高測科技股份有限公司。
黑龍江
黑龍江省工業(yè)和信息化廳于2024年6月6日公示了2024年度黑龍江省首臺（套）產(chǎn)品擬認定名單，共有55家企業(yè)上榜。其中，哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司旗下有2個碳化硅裝備上榜，分別是碳化硅感應(yīng)長晶爐（6英寸）以及碳化硅電阻長晶爐（6英寸）。
首臺套認定的多重利好
首臺套認定為各省份乃至全國的高端裝備制造業(yè)發(fā)展提供了強勁動力。通過政策支持和資金扶持，企業(yè)得以加大研發(fā)投入，推動技術(shù)創(chuàng)新，提升產(chǎn)品競爭力：
財政資金獎勵
許多地方政府會對獲得首臺套認定的企業(yè)給予財政資金獎勵。如廣東省明確將根據(jù)文件給予上榜企業(yè)/產(chǎn)品給予豐厚的財政資金獎勵。同時，部分地方政府為鼓勵企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和首臺套裝備的研發(fā)，會給予企業(yè)一定的稅收優(yōu)惠政策。
提升市場認可度
首臺套認定可提升產(chǎn)品的市場認可度和品牌知名度，使企業(yè)的產(chǎn)品更容易獲得市場的信任和青睞，拓展市場份額。其示范效應(yīng)還能帶動相關(guān)行業(yè)和領(lǐng)域?qū)π录夹g(shù)、新產(chǎn)品的應(yīng)用和推廣，進一步擴大企業(yè)的市場影響力。此外，部分地方政府和相關(guān)部門為降低企業(yè)研發(fā)和市場推廣風(fēng)險，建立了首臺套重大技術(shù)裝備保險補償機制，增強企業(yè)應(yīng)對風(fēng)險的能力。
促進企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新
首臺套認定促使企業(yè)加大研發(fā)投入，開展技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，推動企業(yè)的技術(shù)進步和創(chuàng)新能力的提升。這不僅有助于企業(yè)提高產(chǎn)品的技術(shù)水平和性能，還能帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，促進產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和升級，提高整個產(chǎn)業(yè)的競爭力和附加值。
