芯耀
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本期話題：
通過差異化競爭，覆蓋94.9%的前道量檢測設備
面對國際巨頭壟斷，初創(chuàng)公司將如何破局？
半導體前道量檢測設備對良率的重要意義
幻實（主播）：歡迎大家關注芯片揭秘，我是主播幻實。本期我邀請到了一家專注于半導體前道檢測與量測設備領域的公司——無錫卓海科技股份有限公司（以下簡稱：卓?？萍迹F(xiàn)在坐在我旁邊的就是來自卓海科技的研發(fā)總監(jiān)、上海研發(fā)中心總經理俞勝武。
俞勝武（嘉賓）：大家好，我是卓?？萍嫉挠釀傥?，很高興今天有機會和幻實一起交流。
幻實（主播）：俞總是我們芯片揭秘的老粉絲了，我想問一下，您是什么時候關注到我們芯片揭秘欄目的？是有朋友推薦嗎？還是直接搜索到的？
俞勝武（嘉賓）：我應該是去年關注芯片揭秘的，就是在網上看到的，在抖音上、視頻號上都刷到過。我記得你們好像還有音頻節(jié)目吧？反正多個渠道都看到過你們節(jié)目。
幻實（主播）：是的，我們音頻、視頻、圖文都有在做。那說明大數(shù)據還是有用的，它把對我們這種硬科普感興趣的人都給推薦了，否則我覺得像您這種理工背景的人是不可能在抖音上專門搜這些東西的吧？
俞勝武（嘉賓）：是的，我也沒有特意去檢索，因為我時不時會關注金融、半導體領域，所以可能就是大數(shù)據推送的。
幻實（主播）：不過實話實說，您覺得關注我們這樣的平臺欄目，對你們的工作或者是開拓產品有沒有一些助力？
俞勝武（嘉賓）：幫助是有的，因為我們確實要了解行業(yè)的一些信息，然后你們從不同的緯度，從新媒體或者是投資的角度去看這個行業(yè)，給了我們另外一個視角。
幻實（主播）：我們現(xiàn)在應該做了有四百多期了，您關注的時候估計是三百多期。這么多期下來，我們確實聊了非常多的產業(yè)鏈、環(huán)節(jié)、流程相關內容。俞總今天想給我們帶來哪一個環(huán)節(jié)的分享？其實我還蠻期待的。
俞勝武（嘉賓）：好的，我也蠻想借這個機會講講卓海科技的創(chuàng)業(yè)過程以及我們新產品部門的故事。這個領域在國內真正興起也就是最近這幾年，所以大家其實還是處于一個創(chuàng)業(yè)的狀態(tài)來做這個事情。
幻實（主播）：所以您現(xiàn)在還是以一種創(chuàng)業(yè)的心態(tài)在工作。俞總，想請您跟我們分享一下你們現(xiàn)在處于什么賽道？產品和技術面對什么市場？主要解決什么問題？
俞勝武（嘉賓）：我們現(xiàn)在所在的是半導體前道量檢測設備行業(yè)。我們都知道良率是半導體行業(yè)的生命線，因為它涉及到的工藝很多。我們有個計算的公式，比如說每道制程或者說每個工藝它有99%的良率，但是經過600道工藝之后，可能最終良率就只有0.24%，接近于0了。這就說明了每個流程的良率控制對半導體產業(yè)是非常的重要的。那怎么才能做這些良率的量檢測呢？這個就要講到半導體量檢測行業(yè)了。通過量測和檢測，能夠把每道工序的各個工藝環(huán)節(jié)以及技術參數(shù)和缺陷檢測出來，這個就是我們目前所處的行業(yè)情況，它在整個半導體產業(yè)里面是非常重要的一個環(huán)節(jié)。
幻實（主播）：量檢測設備其實這些年國產化率還是比較低的，而且確實還是日美韓等國在這方面優(yōu)秀的公司比較多，你們選擇了哪一塊業(yè)務來進行開拓？
俞勝武（嘉賓）：我們量檢測行業(yè)跟國外先進水平相比，差距還是非常大的。卓海科技于2009年成立，我們之前十幾年一直專注于前道量檢測設備的修復以及運維，從2020年開始籌建自研的新產品。所以我們目前其實是圍繞著修復、運維以及自研三大板塊來進行業(yè)務布局的。
通過差異化競爭，覆蓋94.9%的前道量檢測設備
幻實（主播）：目前你們著手三大塊維度，這三大塊維度的選擇有什么關聯(lián)性嗎？
俞勝武（嘉賓）：這三大板塊有很強的互補性。卓?？萍贾饕峭ㄟ^設備修復技術來進行企業(yè)積淀的，在修復的過程當中，我們積累了大量的機臺的經驗，量檢測產品覆蓋的范圍也非常廣，達到了前道94.9%的產品覆蓋比例。通過這么多年的積累，我們對量檢測行業(yè)的認知比較深，對機臺的經驗以及客戶的痛點也比較了解，所以我們比較清楚從什么樣的設備、機臺入手來做自研，這對我們自研的方向來說是一個很好的支撐。除了方向上、經驗上的支持，在資金以及渠道方面，也為我們自研產品提供了有力的支持。卓?？萍嫉倪\營情況非常好，從2020年到2023年，我們每年的營收基本上保持著50%以上的增長，毛利率基本上可以穩(wěn)定在60%。
幻實（主播）：這個毛利率聽起來是非常高的。
俞勝武（嘉賓）：是的，營收情況也非常好。我們去年凈利潤也有一億多，所以我們有足夠的資金支撐來給我們的自研產品助力。您也知道半導體量檢測行業(yè)是一個人才密集型、資金密集型的產業(yè)，所以需要大量的資金。還有就是渠道的支持，我們通過前面十多年的積累，擁有了大量的客戶資源，這些客戶對我們有充分的信任度，所以一旦我們的新產品出來之后，這些客戶就樂意來嘗試或者接受我們的新產品。總的來說，經驗、資金、渠道等幾個方面對我們自研新品有很大的助力。
幻實（主播）：但是自研產品的財務模型完全不同，對吧？它跟維修設備完全不在一個挑戰(zhàn)上面，投入量會非常大，你們到目前為止花了多少心血？進展到什么程度了？
俞勝武（嘉賓）：對，我們從2020年開始籌劃自研新品，2021年正式組建。目前團隊也就40多人，但是我們已經布局了9款產品，包括一些核心零部件，比如說紫外固態(tài)激光器、高壓電源裝置等。在整機方面，我們有薄膜應力檢測儀、四探針電阻測量儀、膜厚檢測儀以及最近剛剛立項的缺陷檢測儀、光聲金屬薄膜量測儀等。實際上我們也是由易到難，隨著團隊的發(fā)展不斷地去挑戰(zhàn)更復雜的機臺，堅持循序漸進的發(fā)展路徑。
幻實（主播）：您剛剛說了一些新品，我覺得方向還挺多的。我想知道這是您帶隊定的方向嗎？
俞勝武（嘉賓）：這是我們公司內部共同決定的。首先商務部門對市場比較了解，知道客戶需要什么，清楚客戶的痛點；另外我們在翻修的過程當中，根據對機臺的知識或者技術的了解，判斷什么樣的設備是適合我們目前的技術能力去挑戰(zhàn)的。結合這幾個方面，我們會有比較精準的產品方向。
幻實（主播）：您可否選擇其中一個產品方向來給我們展開講一講，具體的這款產品你們打算用什么方式來獲得國內的客戶？做到了什么程度？產品的性能或者競爭力怎么樣？
俞勝武（嘉賓）：比如說我們的一款四探針電阻儀，它是測方塊電阻的，它對標的實際上是美國KLA公司的產品。以前在我們立項的時候，國內市場上基本上還沒有人在做這個，所以我們覺得這是一個很好的產品方向。我們就直接對標RS系列的產品開始自研。
幻實（主播）：這個產品解決的問題是什么？
俞勝武（嘉賓）：它主要是用方塊電阻電學檢測的方式來進行膜厚的測量。
幻實（主播）：測膜厚的儀器，所以這也是前道的一個設備？
俞勝武（嘉賓）：是的，它是前道的一款重要的產品。
面對國際巨頭壟斷，初創(chuàng)公司將如何破局？
幻實（主播）：目前賣的比較好的是國外的KLA的產品，但我聽說像這些海外公司現(xiàn)在對中國的供貨不是特別友好，你們是怎么解決技術來源問題的呢？
俞勝武（嘉賓）：實際上在研發(fā)的過程中，我們發(fā)現(xiàn)這些機臺里面有很多黑盒子，只有我們從正向的原理上去深入的理解，然后結合我們電學方面的技術積淀，比如對小信號的處理、采集以及對工藝的了解，來最終形成我們自己的解決方案。
幻實（主播）：您覺得在這個過程中挑戰(zhàn)最大的是什么？
俞勝武（嘉賓）：挑戰(zhàn)還是很大的。一方面是電學檢測的方式的難題。在電學檢測中，對那些小電流的處理、微弱信號的處理，需要非常先進的技術以及很高的操作要求；另外一方面就是對半導體工藝的理解還面臨著非常大的挑戰(zhàn)。我們也是通過好多代產品不停的迭代，最終才能夠達到對標國外產品的水平。目前這款產品得到了一些Fab廠充分地驗證，也有幾十臺的出貨量級了。
幻實（主播）：你們已經有幾十臺的交貨，這個其實可以叫做批量出貨了，說明得到了客戶的認可。我聽起來時間不長，能在這么短的時間內取得這么快的結果，是什么原因呢？
俞勝武（嘉賓）：因為我們的研發(fā)團隊還是以創(chuàng)業(yè)的心態(tài)來做產品的。我們的研發(fā)人員用“自驅精益”來嚴格要求自己，最終形成一個個精兵強將。其實每個專業(yè)領域我們可能人員配備都不多，就一、兩位工程師，但是大家非常地專注來做事情。
幻實（主播）：我還有一個問題，你們三個板塊之間會不會有一些對自身的發(fā)展有所限制的？賣自研產品是不是就會影響傳統(tǒng)的業(yè)務？在這方面你們內部有什么樣的戰(zhàn)略平衡呢？
俞勝武（嘉賓）：這就有點類似于武俠世界的“左右互搏”。面對這種趨勢，我們是這樣考慮的：一方面，半導體量檢測行業(yè)的國產化率非常低，目前只有3.6%，這意味著還有極大的拓展空間；另一方面就是“一代工藝，一代產品”，隨著半導體工藝不斷更新迭代，每一代工藝對應的產品也在變化，因此國內的Fab產線翻新設備的需求量還是非常大的，我們有足夠的成長空間，能夠維持自己翻新的業(yè)務以及運維的業(yè)務，所以我們也非常有信心。通過這樣的一個時間窗口，我們的自研產品也會逐步的成長起來，所以我覺得對我們的業(yè)務來講，這三大板塊有很強的互補性。
幻實（主播）：我能感覺到俞總充滿了激情。我知道您之前也是大廠出來的，投身這種初創(chuàng)公司，感覺角色要發(fā)生很多的變化，您能適應嗎？
俞勝武（嘉賓）：我覺得也是能比較好的適應的。原先我在大廠里面學到了非常規(guī)范的企業(yè)管理以及研發(fā)流程管理經驗，到一個初創(chuàng)的企業(yè)之后，實際上把原先大廠的這些經驗跟初創(chuàng)公司的實際情況結合起來，就能完成很好的過渡。不過在初創(chuàng)公司里面，大家要非常的自驅精益，要非常高效。
幻實（主播）：當下半導體的創(chuàng)業(yè)環(huán)境并不是特別好，對外有國際巨頭壟斷，對內經過這么多年的發(fā)展，國內也已經形成了一些龍頭公司，這些公司擁有比較強的侵占性。以前它們可能只是做某一個產品，但是為了支撐它的體量，現(xiàn)在開始進行多個行業(yè)布局。那對于初創(chuàng)公司來說，感覺剩余的空白點或者是機會不多了，你們團隊有沒有悲觀或者緊迫的感覺，您怎么解讀這個局面呢？
俞勝武（嘉賓）：首先我們有一個清醒的認識，就是跟國外的差距非常大。差距大一方面意味著有非常多的機會，另一方面也面臨非常大的挑戰(zhàn)。國內半導體量檢測領域的友商比較多，競爭也非常激烈，所以我們要立足自身的稟賦跟特長，用我們的方式來迎接這樣的挑戰(zhàn)。前面也講了，卓海科技有很多修復方面的經驗，這個就是我們獨特的優(yōu)勢，它能夠很好地助力我們的自研，同時我們用自有資金不停的進行再投入，是一個循序漸進、由易到難的過程。
幻實（主播）：你們自己能給自己造血，對吧？不依賴那么多外部的投資或者市場的變化，所以我感覺您坐在這很淡定。
俞勝武（嘉賓）：對，我們還是采用穩(wěn)扎穩(wěn)打的方式來做研發(fā)，所以相對來說沒有那么焦慮。
幻實（主播）：這也是一個很好的方式，這條路大家注定會走得很慢，所以企業(yè)不要急于求成，確保今天能好好活著，朝著明天的夢想慢慢去走就行了。
俞勝武（嘉賓）：半導體量檢測領域是一個長賽道，我們現(xiàn)在跟國外先進水平的差距還是非常大的。舉個例子，比如說無圖案晶圓缺陷檢測設備，KLA目前已經到了SP7，可應用于5納米制程，而據我了解國內現(xiàn)在還停留在SP3的水平，最多也就達到30多納米制程，所以差距非常大，我們還有非常大的成長空間。我想在這個過程當中，對每一個從事國內半導體量檢測領域的企業(yè)來講都是機會，只不過看誰能把它做好。
幻實（主播）：這是一個系統(tǒng)性的問題，在光刻技術沒有那么先進的情況下，對檢測的需求也不可能誘發(fā)出來，這是相輔相成的，所以我們要面對的挑戰(zhàn)還是很多的。最后我想問問，您有沒有想借助我們的平臺對外號召或呼吁的？
俞勝武（嘉賓）：首先，我希望國內的廠商，大家能夠專注做好自己的事情，共同補齊國內的短板。第二，希望大家形成良性的競爭。據我所知，目前有一些企業(yè)亂刷投資人的錢來打價格戰(zhàn)，這擾亂了整個市場的正常價格體系。在這樣的長賽道里，還是要看誰能活得長、活得好，為了長遠發(fā)展還是鼓勵大家去形成良性的競爭。第三，我也呼吁更多的優(yōu)秀人才能夠加入我們半導體量檢測行業(yè)，能夠加入卓海科技。
幻實（主播）：俞總講得非常對，企業(yè)如果隨便刷投資人的錢，這一筆刷完了，下一筆其實未必會來。只有把自己的現(xiàn)金流管控好，這個公司才會安全。確實做企業(yè)不容易，創(chuàng)業(yè)不容易。期待看到俞總和您的團隊在這么難的賽道里沖出不一樣的公司，也祝你們發(fā)展得越來越好。
隨著我國成熟制程產線的快速建設，下游對成熟制程前道量檢測設備需求呈現(xiàn)持續(xù)增長，但在國際龍頭原廠設備及國產設備供應不足的背景下，修復設備成為我國產線迭代過程中成熟制程設備的重要來源，市場規(guī)模快速增長。根據沙利文數(shù)據，2021年至2025年，中國大陸前道量檢測修復設備市場規(guī)模仍將實現(xiàn)快速增長，預計到2025年，將達到82.1億元，年復合增長率達到 28.09%。
前道量檢測設備能夠對晶圓制造過程中的各個環(huán)節(jié)進行精確檢測和測量，及時發(fā)現(xiàn)光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝中可能出現(xiàn)的缺陷和偏差，如顆粒污染、表面劃傷、薄膜厚度不均勻等問題，從而保證芯片的質量和性能，提高芯片的良品率。隨著芯片制程不斷向更小的納米尺度演進，對量檢測設備的精度和分辨率要求越來越高。光學檢測技術是目前主要的檢測技術，但存在分辨率瓶頸，而電子束檢測技術能夠顯著提升分辨率，多電子束方案還能夠提升檢測速度，滿足先進制程對高精度、高速度檢測的需求，是先進制程發(fā)展的關鍵助力之一。
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2018年至今，芯片揭秘連續(xù)5年以周更頻率與200+科技企業(yè)合作，涉及領域包括：半導體、工業(yè)軟件、智能汽車、材料裝備、新能源等；在喜馬拉雅FM上的芯片類節(jié)目中排名第1，科技類節(jié)目中排名前30，全網播放量超過500萬。
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