兆聲波在晶圓清洗機(jī)是如何產(chǎn)生的？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：有的單片清洗機(jī)里也配有超聲波，這是怎么實(shí)現(xiàn)的呢？共有幾種超聲波產(chǎn)生的方式？

晶圓清洗機(jī)的分類(lèi)？

晶圓清洗機(jī)一般分為：浸泡式清洗機(jī)，旋轉(zhuǎn)噴霧式清洗機(jī)。浸泡式一般為批量清洗，可以調(diào)節(jié)的參數(shù)有溫度，藥液濃度，兆聲波頻率，功率，搖擺幅度等

旋轉(zhuǎn)噴霧式一般為單片清洗，可以調(diào)節(jié)的參數(shù)有溫度，藥液濃度，兆聲波頻率，功率，，藥液流量，氣壓，噴嘴與晶圓的距離，擺臂速度等。

兆聲波的發(fā)生方式？

共三種：槽式兆聲波振板、噴淋式兆聲噴頭、貼合式兆聲清洗頭。

槽式兆聲波振板

槽式兆聲清洗，一般將兆聲發(fā)射裝置置于水槽底部，清洗時(shí)晶圓放置在水槽中。該種方式的優(yōu)點(diǎn)是使用方便，可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行批量清洗，故此又被稱(chēng)為“批量式”兆聲清洗。

噴淋式兆聲噴頭

噴淋式兆聲清洗是將兆聲發(fā)射器做成噴嘴的形式，兆聲隨著水流下落到被清洗的晶圓上，相對(duì)于放置在處理槽底部的槽式兆聲裝置有更高的聲傳輸效率。

貼合式兆聲清洗頭

貼合式兆聲是在噴淋式和槽式的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)而得到的更優(yōu)化方式。其通常將兆聲發(fā)射裝置非?？拷A表面，只留不超過(guò)3mm的間隙，清洗液從間隙流過(guò)，填滿間隙，超聲波在液體中傳播，從而完成清洗。

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