芯耀
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一、背景闡述
在半導(dǎo)體超精密制造領(lǐng)域，振動是一個常見的問題，地基的振動速度過大和工作面的移動帶來的振動沖擊，對于設(shè)備生產(chǎn)精度把控和生產(chǎn)產(chǎn)能提升將受較大影響。地基的振動根據(jù)行業(yè)應(yīng)用精度劃分有不同的VC等級，工作臺面的振動可參考VC等級做初步評估是否有影響。
在工作臺受振動影響時，傳統(tǒng)解決方案采用被動減振來減少振動路徑傳遞和增加被動阻尼減少臺面振動帶來的振蕩周期，被動減振有一定的振動衰減效果但也僅作用于部分高頻狀態(tài)，被動減振在低頻振動傳遞衰減和振蕩抑制均無最佳效果，所以被動減振不為最佳解決方案。
為了解決振動問題，主動隔振技術(shù)被引入到半導(dǎo)體制造中，相對于被動減振，主動減振系統(tǒng)增加控制系統(tǒng)來減少振動路徑傳遞和振動后的快速抑制，從而提升了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
二、工作原理
主動隔振技術(shù)的工作原理基于反饋控制系統(tǒng)+前饋控制系統(tǒng)，通過傳感器感知外界振動信號，并將其發(fā)送給控制器。 控制器根據(jù)傳感器信號實時調(diào)整執(zhí)行器的工作狀態(tài)，通過傳感器與執(zhí)行器的結(jié)合達到控制系統(tǒng)的動態(tài)響應(yīng)。從振動路徑傳遞的降低到振動源產(chǎn)生后的基于反饋控制快速抑制和運動帶來的振動杜絕，主動減振在振動減振方面充分體現(xiàn)其全性能優(yōu)勢。
三、格藍若產(chǎn)品優(yōu)勢
格藍若主動減振產(chǎn)品具備完整的自主知識產(chǎn)權(quán)體系，在國內(nèi)外布局多項技術(shù)發(fā)明專利，控制系統(tǒng)及算法領(lǐng)域擁有多項軟件著作權(quán)。產(chǎn)品產(chǎn)線實現(xiàn)100%國產(chǎn)化能力，產(chǎn)品核心技術(shù)自主可控，產(chǎn)品性能領(lǐng)先于國際水平。
格藍若精密主動減振產(chǎn)品體系覆蓋SFV真空系列、SFN復(fù)合彈簧系列、SFT氣浮系列、FSD一體式抗沖擊系列、SST鋼彈簧系列及PAD一體式隔振平臺等。以上產(chǎn)品系列在精密制造，精密機床、航空航天、電子電鏡、顯微測量等場景廣泛應(yīng)用。
格藍若解決方案團隊能為客戶提供基礎(chǔ)主動減振產(chǎn)品選型路徑參考和定制化開發(fā)技術(shù)服務(wù)。從客戶的角度出發(fā)，滿足其對產(chǎn)品性能、應(yīng)用場景、成本控制等多方面的需求，在產(chǎn)品技術(shù)、質(zhì)量及服務(wù)各方面做到行業(yè)內(nèi)最優(yōu)以替代國外減振產(chǎn)品，實現(xiàn)提供國產(chǎn)化設(shè)備專業(yè)解決方案及定制化設(shè)計專業(yè)解決方案。
四、應(yīng)用實例
1、SFV真空系列
在先進制造領(lǐng)域，SFV?真空系列減振器能夠滿足?14nm?及以上關(guān)鍵工藝制程設(shè)備的減振需求。
經(jīng)典案例：
產(chǎn)品型號：SFV180A
場景：IC制造樣機，零部件滿足1E-4Pa真空環(huán)境下正常工作
系統(tǒng)固有頻率：<0.5Hz
振動傳遞率：如圖
2、SFN復(fù)合彈簧系列
在先進制造領(lǐng)域，SFN?系列減振器可滿足?90nm?及以上關(guān)鍵工藝制程設(shè)備的減振需求。
經(jīng)典案例：
產(chǎn)品型號：SFN160B
場景：90nm制程以下IC制造樣機
最低系統(tǒng)固有頻率：0.4Hz
振動傳遞率：如圖
3、SFT氣浮系列
SFT?系列?A?型減振器擁有極具行業(yè)競爭力的主動減振性能以及較強的抗沖擊能力。在?300nm IC制造以及半導(dǎo)體量測與檢測場景中，該產(chǎn)品能夠提供完美的解決方案。
SFT?系列?D?型減振器擁有極具行業(yè)競爭力的主動減振性能以及較強的抗沖擊能力，能夠滿足后道封裝與晶圓高產(chǎn)率檢測的性能要求。
經(jīng)典案例1：
場景：某國內(nèi)龍頭半導(dǎo)體廠家量測設(shè)備
振動傳遞率：如圖
最大運動質(zhì)量：50kg
運動加速度：10m/
整定時間：41ms
經(jīng)典案例2
產(chǎn)品型號：SFT080D
場地：某國內(nèi)半導(dǎo)體廠家檢測設(shè)備；
振動傳遞率：附圖
最大運動質(zhì)量：90kg
運動加速度：8m/s2
整定時間：100ms
位移波動量：位移臺定位控制誤差±10nm
4、FSD一體式抗沖擊系列
FSD系列主動減振平臺采用4個減振模塊集成于一體，每個模塊以鋼彈簧作為主支撐實現(xiàn)三向隔振，配合垂向和水平向的主動振動控制，實現(xiàn)?6?自由度高性能主動減振，可選配精密定位控制功能?？梢詽M足檢測、量測設(shè)備等高性能減振要求。
經(jīng)典案例：
場景：某國內(nèi)龍頭半導(dǎo)體廠家量測工件臺
振動傳遞率：如圖
最大運動質(zhì)量：17kg
運動加速度：20m/
運動過程中位置波動：＜±70μm
運動停止位置波動：＜±30μm
穩(wěn)定時間：10ms
運動臺靜態(tài)抖動：2nm
5、SST鋼彈簧系列
SST系列減振器基于產(chǎn)品外形縮小和現(xiàn)場供氣量減少的需求，可供小沖擊量測與檢測設(shè)備設(shè)計研發(fā)和量產(chǎn)出貨做選型匹配，滿足6寸，8寸，12寸不同半導(dǎo)體設(shè)備減振與制振的需求。
經(jīng)典案例：
產(chǎn)品型號：SST050B
場地：某國內(nèi)龍頭半導(dǎo)體廠家量測設(shè)備；
振動傳遞率：如圖
最大運動質(zhì)量：30kg
運動加速度：5m/s2
整定時間：60ms
位移波動量：減振器端±10um
6、兩級減振
通過雙層主動減振，提供靜態(tài)超高隔振性能同時在一級側(cè)可接入運動臺，提供運動臺前饋信號。
7、多腿減振方案
為跨距較大或平面尺寸較大提供多腿主動減振方案，最多支持64腿方案
多腿主動減振平臺
大跨度多腿減振方案
多腿設(shè)計提供了更多支撐點，提升了系統(tǒng)的整體穩(wěn)定性。
多腿結(jié)構(gòu)能更均勻地分散負載，減少單點壓力，降低局部磨損，延長設(shè)備壽命。
多腿設(shè)計使減振器能靈活適應(yīng)不同地形和工況，保持穩(wěn)定性和減振效果。
多腿系統(tǒng)具備冗余性，提高系統(tǒng)可靠性。
2025年3月26日至28日，格藍若精密將在SEMICON CHINA以及慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展兩個展會現(xiàn)場恭候各位專家的光臨，地點位于上海新國際博覽中心E7-7174,W2-2591，敬請蒞臨指導(dǎo)！
