芯耀
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知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：設備上常見的涂層有哪些？各有哪些作用？
什么是涂層？
涂層，是涂敷在晶圓，設備/配件上的表面的薄層，厚度從納米到幾微米不等，用于改變原有材料的性質(zhì)，目的是為了保護、提升性能或?qū)崿F(xiàn)某種特定功能的作用。
涂層的種類有哪些？
以設備/配件上的涂層為例，有：
| 涂層名稱 | 應用區(qū)域 | 功能 |
| 等離子防蝕涂層（Y?O?, Al?O?） | 刻蝕腔體、shower head、ceramic part | 抗腐蝕、延長壽命 |
| 防粘附涂層（PTFE、DLC） | 涂膠顯影設備、噴嘴 | 減少光刻膠殘留 |
| 導電/防靜電涂層（ITO） | 加熱平臺、靜電吸盤 | 防止靜電積聚，保護晶圓 |
| 熱反射涂層 | 加熱器或窗口片 | 提升能效，避免熱量損失 |
| 抗劃傷/耐磨涂層 | robot arm、夾具 | 降低顆粒、避免晶圓損傷 |
涂層用什么方式來做的？
以設備/配件上的涂層為例，
1，化學氣相沉積（CVD），PVD
2、熱噴涂技術
3、離子鍍技術
4，電鍍，化學鍍
涂層需要考慮哪些性質(zhì)？
1，厚度2，附著力3，表面自由能4，與底層材料的粘接力5，耐等離子氣體能力6，金屬離子率等
我認識不少做涂層的廠家，如有需求，可以私信我
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