芯耀
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近期，國(guó)內(nèi)有3家碳化硅企業(yè)透露了8英寸進(jìn)展，量產(chǎn)化進(jìn)程明顯加快：
- 重投天科：6-8英寸碳化硅襯底和外延已推向市場(chǎng)；合盛硅業(yè)：8 英寸碳化硅襯底已開始小批量生產(chǎn)，將加速量產(chǎn)進(jìn)程；超芯星：開啟8英寸碳化硅襯底量產(chǎn)，將推動(dòng)大規(guī)模量產(chǎn)。
重投天科：6&8吋產(chǎn)品已推向市場(chǎng)
5月6日，據(jù)深圳國(guó)資官微透露，深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司旗下高質(zhì)量的6-8英寸碳化硅襯底和外延已推向市場(chǎng)。
重投天科總經(jīng)理彭勇進(jìn)一步透露，他們僅用了19個(gè)月實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線順利投產(chǎn)，并且在國(guó)內(nèi)首次建立了完整的碳化硅材料生產(chǎn)線，突破了缺陷抑制、快速生長(zhǎng)和籽晶處理等關(guān)鍵技術(shù)，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的完整技術(shù)路線。
值得關(guān)注的是，今年3月，重投天科與深重投集團(tuán)旗下深圳市鵬進(jìn)高科技有限公司等公司開展合作，將攜手攻關(guān)基于8英寸外延片的功率器件工藝開發(fā)，外延片缺陷控制、厚度均勻性優(yōu)化以及器件在新能源、電動(dòng)汽車等領(lǐng)域的應(yīng)用驗(yàn)證。
資料顯示，重投天科聚焦于碳化硅襯底和外延的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，是北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司和市屬國(guó)企深重投集團(tuán)兩家企業(yè)為主要股東合資成立的半導(dǎo)體企業(yè)，技術(shù)來源于中國(guó)科學(xué)院物理研究所。
合盛硅業(yè)：8英寸SiC襯底小批量生產(chǎn)
近日，合盛硅業(yè)發(fā)布了2024 年年度報(bào)告。其中透露，他們?cè)?8 英寸碳化硅襯底研發(fā)方面，憑借自研體系和高效研發(fā)，已開始小批量生產(chǎn)，未來將加速 8 英寸碳化硅量產(chǎn)進(jìn)程。
除此之外，合盛硅業(yè)的6英寸碳化硅襯底已全面量產(chǎn)，晶體良率達(dá) 95%以上，外延良率穩(wěn)定在98%以上，處于行業(yè)領(lǐng)先位置。
目前，合盛硅業(yè)已完整掌握了碳化硅材料的原料合成、晶體生長(zhǎng)、襯底加工以及晶片外延等全產(chǎn)業(yè)鏈核心工藝技術(shù)，突破了關(guān)鍵材料（多孔石墨、涂層材料）和裝備的技術(shù)壁壘，碳化硅產(chǎn)品良率處于國(guó)內(nèi)企業(yè)領(lǐng)先水平，在關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)方面已追趕上國(guó)際龍頭企業(yè)水平。
超芯星：開啟8英寸碳化硅襯底量產(chǎn)
5月6日，超芯星在官微透露，他們開啟了8英寸碳化硅襯底量產(chǎn)，并揭秘量產(chǎn)背后的“晶體種植術(shù)”。據(jù)超芯星聯(lián)合創(chuàng)始人袁振洲表示，她帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)不斷攻克難關(guān)，先后突破了低應(yīng)力晶體生長(zhǎng)、低缺陷晶體生長(zhǎng)及低損耗晶片加工技術(shù)等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)，形成了一整套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工藝。如今，超芯星已成為國(guó)內(nèi)能夠批量供應(yīng)碳化硅襯底片的企業(yè)之一，同時(shí)也是一家覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈的碳化硅材料公司。袁振洲還認(rèn)為，碳化硅產(chǎn)業(yè)正處于充滿活力與無限可能的青春期，隨著新興應(yīng)用市場(chǎng)的不斷開啟，超芯星近期的目標(biāo)是推動(dòng)8英寸碳化硅襯底的大規(guī)模量產(chǎn)。資料顯示，超芯星成立于2019年，長(zhǎng)期致力于6-8英寸碳化硅襯底技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。2023年7月，超芯星宣布與國(guó)內(nèi)知名下游客戶簽訂了8英寸碳化硅深度戰(zhàn)略合作協(xié)議。
