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烽煙起,存儲器大戰(zhàn)已迫在眉睫。要說參戰(zhàn)方有哪些?分別是 MRAM、PRAM、ReRAM。當(dāng)然,篇幅有限,今天與非網(wǎng)小編就挑出其中的一項技術(shù)來為大家細(xì)細(xì)解說。
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要說的就是最近引發(fā)大家關(guān)注的 MRAM 技術(shù),在第 64 屆國際電子器件會議 (IEDM) 上,全球兩大半導(dǎo)體龍頭英特爾及三星就為此大打出手。他們展示了嵌入式 MRAM 在邏輯芯片制造工藝中的新技術(shù)。從上世紀(jì) 90 年代到現(xiàn)在,歷經(jīng)了數(shù)十年發(fā)展的 MRAM,被業(yè)界認(rèn)為是構(gòu)建下一代非易失性緩存和主存的潛在存取器件之一。
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MRAM 技術(shù)簡介
MRAM (Magnetic Random Access Memory,磁阻式隨機存取存儲),是一種非易失性存儲技術(shù),從 1990 年代開始發(fā)展。此技術(shù)速度接近靜態(tài)隨機存儲的高速讀取寫入能力,具有閃存的非揮發(fā)性,容量密度及使用壽命不輸 DRAM,但平均能耗遠(yuǎn)低于 DRAM,而且基本上可以無限次地重復(fù)寫入。
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MRAM 的數(shù)據(jù)寫入方式有兩種:磁場寫入模式和全電流寫入模式。
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采用磁場寫入方式的磁性隨機存儲器
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前者主要利用了字線與位線在 MRAM 記錄單元上所產(chǎn)生的磁場,使 MRAM 的自由層在磁場的作用下實現(xiàn)與釘扎層平行和反平行方向的翻轉(zhuǎn),以此來完成 0/1 數(shù)據(jù)的寫入。
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后者利用了自旋轉(zhuǎn)移矩效應(yīng)(spin transfer torque,STT),使寫入數(shù)據(jù)線直接通過 MRAM 記錄單元,利用自旋轉(zhuǎn)移矩效應(yīng)實現(xiàn)磁隧道結(jié)(Magnetic Tunnel Junction,MTJ)自由層的翻轉(zhuǎn)。
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MRAM 芯片截面圖
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上圖為 EVERSPIN 公司生產(chǎn)的 MRAM 產(chǎn)品截面圖。MRAM 單元可以方便地嵌入到邏輯電路芯片中,只需在后段的金屬化過程增加制作 MTJ 需要的光刻掩模板的工藝即可。另外,因為 MRAM 單元可以完全制作在芯片的金屬層中,將 2-3 層單元疊放起來是可以實現(xiàn)的,這也就可以在邏輯電路上方構(gòu)造規(guī)模極大的內(nèi)存陣列。
各類存儲器的性能比較
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與其他存儲技術(shù)相比,MARM 在速度、面積、寫入次數(shù)和功耗方面能夠達(dá)到比較好的折中,因此被業(yè)界認(rèn)為是構(gòu)建下一代非易失性緩存和主存的潛在存取器件之一。
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MRAM 特點
我們來看看 MRAM 有哪些特性。
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首先看看 MRAM 有多快。
從上圖可以看出,MRAM(Spin Torque MRAM)的讀寫速度跟 DRAM 差不多。3D-Xpoint、PCM 等新型存儲介質(zhì),在寫速度方面跟 MRAM 相差二三個數(shù)量級。所有新型存儲介質(zhì)中,MRAM 是唯一一個真正做到和 DRAM 一個級別訪問速度的介質(zhì)。
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從上圖我們還可以看到,MRAM 非常耐寫,1 后面跟了很多很多 0,可以認(rèn)為是長生不老。
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除此之外,MRAM 還具有很好的數(shù)據(jù)保持性和寬的工作溫度范圍。
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總結(jié)一下 MRAM 的特點:
基于閃存的 SSD,由于每個 block 壽命有限,因此 SSD 固件需要做磨損均衡(wear leveling)算法。MRAM 由于長生不老的特點,固件就無需實現(xiàn) wear leveling 了。
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閃存不能覆蓋寫(寫之前需擦除 block),因此 SSD 固件需要做垃圾回收。MRAM 可以原地更新,因此不存在垃圾回收之說。
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MRAM 的技術(shù)難點
第一,功耗大,寫入信息速度較慢。寫入信息時需要較大的電流產(chǎn)生磁場,使 MTJ 自由層磁矩發(fā)生反轉(zhuǎn)。大電流變化速度較慢,限制了存儲單元的寫入信息的速度。隨著存儲單元的尺寸減少,使自由層磁矩發(fā)生反轉(zhuǎn)所需的磁場越大,消耗的功率也越大。
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第二,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制造費用增加。字線和位線帶有磁性外殼,使存儲單元的結(jié)構(gòu)更復(fù)雜,增加了制備工藝難度,且不易于 CMOS 進行集成,降低性價比。
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第三,存儲密度和存儲容量受限。這種寫入機制需要三端電流設(shè)計,在雙電流選擇寫入單元時,為保證寫入不影響其他單元,MRAM 設(shè)計記錄單元的間距不能太小,否則會出現(xiàn)緊鄰大單元間交叉影響,導(dǎo)致信息錯誤產(chǎn)生誤碼。
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那如今全球 MRAM 玩家有多少?他們又是如何入局的呢?接下來與非網(wǎng)小編就帶大家來看一下全球 MRAM 專利概況。
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全球 MRAM 專利概況
上文提到,MRAM 是一種非揮發(fā)性的磁性隨機存儲器技術(shù),擁護者認(rèn)為,MRAM 技術(shù)速度接近 SRAM,具有快閃存儲器的非揮發(fā)性,容量密度及使用壽命不輸 DRAM,平均能耗遠(yuǎn)低于 DRAM,有望成為真正的通用型內(nèi)存 (Universal memory)。
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基于此,很多國家、地區(qū)的企業(yè)、個人都在申請 MRAM 相關(guān)專利。下圖,是 MRAM 相關(guān)專利技術(shù)的發(fā)展概況。
全球 MRAM 申請年度分布
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從圖中看出,從 1990 年全球開始研發(fā) MRAM 技術(shù),1990~1997 年,MRAM 專利申請少,技術(shù)處于萌發(fā)期。1998 開始,從年申請量 74 不斷增加,僅過 5 年,2002 年申請量即突破 1000 件大關(guān),說明 1998~2002 年 MRAM 技術(shù)取到突破,技術(shù)處于快速增長期。2003 年全球 MRAM 專利申請達(dá)到 1513 件后,稍有下滑并進入平穩(wěn)增長過程,說明 2003 年以后 MRAM 技術(shù)處于穩(wěn)定發(fā)展期,處于不斷的探索改進階段,有待于取得新的突破性進展。
全球 MRAM 專利申請人及其申請量分布
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主要申請人中排名前 20 的申請人有 TOSHIBA (東芝)、SAMSUNG ELECTRONICS (三星電子)、SONY (索尼)、IBM、RENESAS ELECTRONICS (瑞薩電子)、SK Hynix (SK 海力士)、QUALCOMM (高通)、NEC (日本電氣)、INFINEON TECHNOLOGIES (英飛凌科技)、HEWLETT-PACKARD (惠普)、TDK、MICRON TECHNOLOGY (美光科技)、TSMC (臺積電)、EVERSPIN TECHNOLOGY (艾爾斯賓科技公司)、 FREESCALE SEMICONDUCTOR (飛思卡爾半導(dǎo)體)、HEADY TECH (海德威科技公司)、SEAGATE TECHNOLOGY (希捷科技)、CANON ANELVA (佳能安內(nèi)華) 、MOTOROLA (摩托羅拉)、CROCUS TECHNOLOGY (科羅庫斯科技)。
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其中,以 TOSHIBA (東芝)的申請量最大,是第二名 SAMSUNG ELECTRONICS (三星電子)的差不多兩倍,占總申請量的 11%,前 5 占總申請量的 30%將近 1/3,前 10 占總申請量的 47%將近一半,前 20 占總申請量的 62%,將近 2/3,從以上前 20 申請人可以知道,主要申請人主要來自于日本,其次為美國,然后為韓國和中國臺灣。
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全球 MRAM 產(chǎn)業(yè)公司
當(dāng)前,國際上有超過 20 家美、日、韓、中國臺灣等國家和地區(qū)的公司致力于研發(fā) MRAM 產(chǎn)品。其中,起到推動作用的公司有 IBM、Eversipin 和以 Samsung 為代表的半導(dǎo)體公司。其中,IBM 是 MRAM 的先驅(qū)和主要推動者。
MRAM 產(chǎn)業(yè)主要公司
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早在 20 年前,IBM 的實驗室就率先開展 MRAM 的研發(fā)工作,并在第一代 astroid-MRAM 和第二代 STT-MRAM 的研發(fā)中取得了多項突破,為 MRAM 的發(fā)展做出了巨大的貢獻;Everspin 是目前市場上唯一一家能夠大批量提供商用 MRAM 產(chǎn)品的上市公司,其繼承并發(fā)展了 Freescale 的 MRAM 技術(shù)。Everspin 能夠提供的 MRAM 芯片容量從 128Kb 到 256Mb,這些存儲芯片主要的應(yīng)用領(lǐng)域集中在工業(yè)、航空航天、車用、能源與物聯(lián)網(wǎng)等。
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近年來,三星、格芯、臺積電等半導(dǎo)體制造大廠也在加速布局 STT-MRAM。它們的目標(biāo)是在近期內(nèi)開發(fā)出嵌入式 MRAM(eMRAM)產(chǎn)品,不同是三星和格芯的晶體管制備傾向于采用 FD-SOI 工藝,而 TSMC 則采用 FinFET 工藝。隨著 MRAM 制造技術(shù)不斷趨于成熟以及市場需求的不斷擴大,越來越多的公司進軍 MRAM 領(lǐng)域,這將加速 MRAM 的產(chǎn)業(yè)化進程。
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國內(nèi)的 MRAM 產(chǎn)業(yè)仍處于起步階段,整體實力薄弱,對全球 MRAM 的產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻較少。在器件制備方面,除了 2016 年兆易創(chuàng)新斥資 500 萬美元入股 Everspin 這一戰(zhàn)略投資以外,僅有零散的幾家初創(chuàng)公司(上海磁宇、浙江海康馳拓等)以及高校和科研院所(南京大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、華中科技大學(xué)、中科學(xué)物理所等)開展 MRAM 的研發(fā)工作;在制造設(shè)備研發(fā)方面,江蘇魯汶儀器研發(fā)出 8 英寸 MRAM 刻蝕設(shè)備,支持 28nm 工藝節(jié)點,能夠滿足大學(xué)、研究所等小線的生產(chǎn)。該設(shè)備近期已向中國臺灣工研院少量出貨。
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總體上,近 20 年來,在產(chǎn)業(yè)公司及科研機構(gòu)的推動下,MRAM 的發(fā)展主要歷了 astroid-MRAM、toggle-MRAM 以及 STT-MRM 等 3 個階段。受限于磁性隧道結(jié)架構(gòu)缺陷和制造能力,2010 年以前的 MRAM 的存儲容量較?。ǎ?4Mb)。2010 年以后,STT-MRAM 的設(shè)計和制造技術(shù)不斷趨于成熟,促進了 MRAM 的存儲容量不斷提升。STT-MRAM 已經(jīng)成為 MRAM 的主流技術(shù)路線。目前基垂直磁各向異性的磁隧道結(jié)的 STT-MRAM 的存儲容量已經(jīng)突破了 1Gb,有望在今后幾年實現(xiàn)更大規(guī)模的量產(chǎn)和更加廣泛的應(yīng)用。
MRAM 發(fā)展現(xiàn)狀
MRAM 不是只存在實驗室,Everspin 公司已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn),包括 Toggle MRAM 和 STT-MRAM 產(chǎn)品。
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另外,GlobalFoundries 宣布了 MRAM 的產(chǎn)品計劃,三星與英特爾已悄然間將該技術(shù)商用化。
除此之外,還有其他一些公司也在開發(fā) MRAM 芯片,其中就有我們熟知的 IBM 和 Toshiba,以及不那么熟悉的 Avalanche Technologies, Spin Transfer Technologies,Crocus 等。
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2018 年主要供應(yīng)商 Everspin 營收可望年增 36%,2019~2020 年以后,隨 GlobalFoundries、臺積電、三星、聯(lián)電等晶圓代工廠商逐步投入嵌入式(embedded) MRAM 生產(chǎn),有助強化嵌入式 MRAM 技術(shù)發(fā)展,有利開拓多元需求及帶動市場起飛。
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在商品化方面,目前 MRAM 已發(fā)展到第三代,具有非揮發(fā)性、讀寫速度快、能耗低、制程仍有持續(xù)微縮空間等優(yōu)點。就產(chǎn)品發(fā)展上,MRAM 可分為獨立式(stand-alone)及嵌入式兩大類,目前獨立式占 MRAM 市場規(guī)模達(dá) 95%以上。
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未來幾年 MRAM 市場成長速度以嵌入式應(yīng)用較為看好,主要想取代的產(chǎn)品是嵌入式 Flash 及 SRAM,尤以替代前者較為優(yōu)先。嵌入式 Flash 制程微縮已遇瓶頸,各廠商產(chǎn)品組合介于 40nm~35μm,相對地,MRAM 目前已可達(dá)到 22nm,且未來制程微縮仍有許多發(fā)展空間,時間站在對 MRAM 有利的一方。
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隨著車用及物聯(lián)網(wǎng)(IoT)芯片需求已朝 40/28/22nm 發(fā)展,未來邊緣運算 AI 芯片也需更快速、耗電更低的嵌入式存儲器,預(yù)期嵌入式 MRAM 今后市場成長速度將優(yōu)于獨立式 MRAM,2023~2024 年產(chǎn)值可望超越獨立式 MRAM。
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