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EUV光刻機(jī)產(chǎn)能如何?中科院5nm光刻技術(shù)和ASML光刻機(jī)相比有何區(qū)別?

2021/04/01
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芯片揭秘主講人謝志峰

幻實(shí)說

繼上期答疑專期后,我們陸陸續(xù)續(xù)又收到了不少粉絲們的提問,本期芯片揭秘主講人謝志峰博士將挑選幾個問題為大家解答。

以下內(nèi)容由對話音頻整理

本期話題

● EUV光刻機(jī)產(chǎn)能如何?

● 晶圓為什么是圓的?

● 不同制程的芯片之間有何區(qū)別?

● 什么是邏輯芯片,邏輯芯片又包括哪些?

● 專用芯片與通用芯片

● 中科院5nm光刻技術(shù)與ASML光刻機(jī)有何區(qū)別?

1、EUV光刻機(jī)產(chǎn)能如何?

大飛_6g(聽友)

請問謝博士,EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能是怎樣的?比如用最先進(jìn)的光刻機(jī),滿負(fù)荷生產(chǎn)手機(jī)芯片麒麟990,每天能產(chǎn)多少片?中芯國際有多少臺投入生產(chǎn)的光刻機(jī)?是1臺、5臺還是10臺呢?謝謝
謝志峰(主講人)這位聽友很專業(yè),但是有些細(xì)節(jié)可能問的不夠準(zhǔn)確。首先,EUV光刻機(jī)以波長為10-14nm的極紫外光作為光源,是目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī),通常只用在集成電路最先進(jìn)的光刻工序中,在多數(shù)情況下,193光刻機(jī)就能夠滿足一般的光刻需求。
 光刻機(jī)的產(chǎn)能通常以月來計(jì)算,大約一個月能夠產(chǎn)出2000片12寸的硅片。中芯國際目前有很多在廠光刻機(jī),不是5臺,不是10臺,應(yīng)該是100臺左右。

ASML光刻機(jī)內(nèi)部簡圖(圖源:百度百科)

 晶圓為什么是圓的?
 

太陽曬西瓜(聽友)

謝老師,請問為什么晶圓是圓的而不是方的呢?

謝志峰(主講人)

晶圓的原始材料是硅,是一種晶體材料。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,從而形成了圓柱形的單晶硅。單晶直拉法工藝中的旋轉(zhuǎn)提拉決定了硅錠的圓柱型,所以在進(jìn)行切割后大多也都是圓形,圓形的硅片在晶圓生產(chǎn)的設(shè)備中更加容易處理,如果一定要切成方形將會造成材料浪費(fèi)。

了解更多晶圓的制造過程,歡迎點(diǎn)擊上方視頻觀看↑↑↑

不同制程的芯片之間有何區(qū)別?

tsms精益六西格瑪(聽友)
14nm技術(shù)達(dá)到7nm技術(shù)一樣的性能,芯片的體積會增大多少?我們有必要繼續(xù)緊跟摩爾定律嗎?
謝志峰(主講人)技術(shù)的迭代不僅表現(xiàn)在體積的縮小,還有其他一些標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)你工藝做小了以后,它的性能會更好、集成度會更高、功耗也會減少。
每一代技術(shù)的更迭通常會帶來長度上30%的縮減。比如這一代是14nm,下一代的長度會在14nm基礎(chǔ)上乘0.7,也就是10nm左右,10nm的下一代就會變成7nm,以此類推。
14nm到10nm是一代,10nm到7nm又是一代,所以使用14nm技術(shù)想要達(dá)到與7nm技術(shù)一樣的性能,芯片尺寸將增大4倍。
可能有人會覺得體積增大4倍也能接受,其實(shí)不然。7nm芯片只有14nm芯片體積的1/4,它的制造成本和功耗都會降低,另外當(dāng)芯片做小時,性能也會提升,所以我們是非常有必要繼續(xù)往下走的。

TSMC 10nm與7nm工藝對比

(圖源:維基百科)

什么是邏輯芯片?
龍寒lyzs(聽友)
謝老師,您認(rèn)為什么是邏輯芯片?邏輯芯片又包含哪些呢?
謝志峰(主講人)所有能夠?qū)崿F(xiàn)功能的芯片都是邏輯芯片,只是單純存儲數(shù)值的芯片是存儲芯片。邏輯芯片無處不在,包括CPU、GPU、MCU等等。

我再舉一些例子,Intel的CPU,Nvdia的 GPU屬于邏輯芯片;三星的Dram,長江存儲NAND FLASH等屬于存儲芯片。單純的邏輯芯片不能獨(dú)立使用,需要與存儲芯片配套。

文中例舉的一些芯片產(chǎn)品

(圖源:百度百科)

專用芯片與通用芯片

RockyMa5939(聽友)AI既然可以用軟件的方法實(shí)現(xiàn),為什么還要研發(fā)AI芯片呢?
謝志峰(主講人)所有的軟件都必須要在硬件上實(shí)現(xiàn),目前,AI確實(shí)可以通過人們的電腦或者手機(jī)來實(shí)現(xiàn),但電腦、手機(jī)里都有芯片,AI功能的實(shí)現(xiàn)實(shí)際上是通過這些設(shè)備中的通用芯片實(shí)現(xiàn)的。無論是Intel的處理器或者華為麒麟處理器,它們都是標(biāo)準(zhǔn)的硬件,CPU屬于通用計(jì)算單元,暴力運(yùn)行某種算法并非其特長,例如CPU挖礦的效率就遠(yuǎn)比不上專門為HASH算法特制的ASIC礦機(jī)芯片。
為什么要研發(fā)AI芯片呢?AI芯片屬于專用芯片,專用芯片是為了滿足特定用戶或特定電子系統(tǒng)的制作需求。AI是依賴特定的神經(jīng)算法實(shí)現(xiàn)的,這個任務(wù)交給普通的CPU來做,效率比較低下。當(dāng)硬件中的專用芯片只做AI相關(guān)的計(jì)算時,它的性能可能有千倍萬倍的提高。

中科院的5nm光刻技術(shù)

和ASML的5nm光刻機(jī)有什么區(qū)別?

漫步在奇點(diǎn)(聽友)請問中科院的5nm光刻技術(shù),和ASML的5nm光刻機(jī)有什么不同?
謝志峰(主講人)ASML 5nm光刻機(jī)已經(jīng)進(jìn)入批量生產(chǎn)階段,它是一個產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。而中國科學(xué)院研究出來的是一種激光直寫技術(shù),雖然實(shí)現(xiàn)了納米狹縫電極陣列結(jié)構(gòu)的規(guī)模生產(chǎn),但這并非是集成電路,也不是一個可以制造生產(chǎn)的產(chǎn)品,它只是一種技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)想要真正做成產(chǎn)品還需要很多年的努力,包括需要實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的低成本、高速度等,這些都有待我們繼續(xù)攻克。

2019年ASML各類光刻機(jī)銷量及收入結(jié)構(gòu)對比

(圖源:前瞻產(chǎn)業(yè)研究院)

幻實(shí)說

芯片揭秘特邀半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)從業(yè)者、參與者、見證者,通過對話方式展示嘉賓觀點(diǎn),共同推動新技術(shù)和新趨勢的社會認(rèn)可及規(guī)模應(yīng)用,呈現(xiàn)產(chǎn)業(yè)人最真實(shí)的心聲。 我們還將持續(xù)聚焦產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)話題,解讀行業(yè)發(fā)展趨勢,如果您有關(guān)于產(chǎn)業(yè)的各種難題或不解,無論涉及深層技術(shù)還是基礎(chǔ)知識,歡迎踴躍留言,芯片揭秘將不定期為大家?guī)砀鄡?yōu)質(zhì)問題答疑的福利專場哦~

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《芯片揭秘》是由艾新教育&茄子燴精心策劃的一檔科技新媒體欄目。欄目由茄子燴CEO曹幻實(shí)女士擔(dān)任主持人,謝志峰博士擔(dān)任主講人,特邀半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)從業(yè)者、參與者、見證者,通過對話展示嘉賓觀點(diǎn)、解讀行業(yè)發(fā)展趨勢,呈現(xiàn)產(chǎn)業(yè)人最真實(shí)的心聲,打造獨(dú)一無二的產(chǎn)業(yè)人自己的發(fā)聲平臺。