芯耀
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7月13日，精測電子接受機構(gòu)調(diào)研，據(jù)機構(gòu)問道：“簡單介紹下上海 精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司在2021年7月13日設(shè)備出機的相關(guān)情況？”
對此，據(jù)精測電子回復(fù)表示，本次出機兩款產(chǎn)品為獨立式光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（OCD）及電子束缺陷復(fù)查設(shè)備（Review-SEM），客戶為中芯國際。OCD設(shè)備除具有全自動光學(xué)膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準確和非破壞性等特點，是半導(dǎo)體前道檢測的關(guān)鍵設(shè)備之一；Review-SEM 是先進的全自動晶圓在線電子束缺陷復(fù)查和分類設(shè)備，對光學(xué)缺陷檢測設(shè)備的結(jié)果進行高辨率復(fù)查、分析和分類。
上海精測主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，致力于半導(dǎo)體前道量測檢測設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)，現(xiàn)已形成了膜厚/OCD 量測設(shè)備、電子束量測設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。上海精測膜厚產(chǎn)品（含獨立式膜厚設(shè)備）已取得國內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD 量測設(shè)備已取得訂單并已實現(xiàn)交付，半導(dǎo)體電子束檢測設(shè)備 eViewTM全自動晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國內(nèi)客戶。其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認證以及拓展的過程中。
據(jù)上海精測公眾號表示，12寸獨立式光學(xué)線寬測量機臺(OCD)是該類型的國內(nèi)首臺機臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進工藝節(jié)點的快速線寬測量。EPROFILE 300FD測量系統(tǒng)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機臺。
配套EPROFILE 300FD, 上海精測還同時發(fā)布了新一代電磁場仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0;該款軟件允許用戶在數(shù)百核的高速建模運算服務(wù)器上進行OCD建模與庫匹配，可以在獲取復(fù)雜三維納米結(jié)構(gòu)光譜變化信息后，實時高速的對于納米結(jié)構(gòu)的各個維度精確值進行計算。
而12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）是上海精測半導(dǎo)體的另一項主力產(chǎn)品。公司從底層開發(fā)做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關(guān)鍵核心部件均為自主設(shè)計，自主知識產(chǎn)權(quán)，并用了近兩年的時間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國產(chǎn)化供應(yīng)鏈。
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