芯耀
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近年以來，國產(chǎn)光刻膠一直是業(yè)界關注的焦點，資本青睞、光刻膠廠商也不斷加碼布局，而關于光刻膠的討論與爭議從未停歇。
投資布局火熱
作為備受關注的“卡脖子”半導體材料，光刻膠已成為資本市場上的香餑餑，近期大基金二期和華為的投資布局更是讓光刻膠熱度加劇。
8月10日，徐州博康工商信息發(fā)生變更，注冊資本從7600.95萬元增至8445.50萬元，增幅11.11%，新增深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)（有限合伙）為股東，后者為華為旗下投資平臺。
△Source：天眼查截圖
徐州博康成立于2010年3月，是一家光刻膠廠商。官網(wǎng)資料顯示，徐州博康實現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及最終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應鏈，產(chǎn)品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、g線/i線光刻膠、電子束光刻膠等。
在這之前不久，大基金二期亦出手投資光刻膠。
7月27日，南大光電公告披露稱，為加快光刻膠事業(yè)發(fā)展，控股子公司寧波南大光電擬通過增資擴股方式，引入戰(zhàn)略投資者大基金二期。大基金二期將以合計1.83億元的價格認購寧波南大光電的新增注冊資本6733.19萬元。
與此同時，晶瑞電材（曾用名“晶瑞股份”）、彤程新材等光刻膠廠商也正在不斷加碼布局。
8月11日，晶瑞電材發(fā)布公告稱，向不特定對象發(fā)行可轉換公司債券已經(jīng)創(chuàng)業(yè)板上市委審議通過，并已經(jīng)中國證監(jiān)會同意注冊。此次擬募集資金不超過5.23億元，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目為募投項目之一。
△Source：晶瑞電材公告截圖
該項目旨在通過自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設，滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實現(xiàn)批量生產(chǎn)ArF Immersion光刻膠的成套技術體系并完成產(chǎn)品定型，技術指標和工藝性能滿足90～28nm集成電路技術和生產(chǎn)工藝要求。
為保障該項目關鍵設備的技術先進性和設備如期到位，晶瑞電材通過Singtest Technology PTE. LTD.進口ASML光刻機設備、購置ArF光刻機配套設備、建設研發(fā)大樓。
此外，晶瑞電材8月1日宣布，曾在知名光刻膠企業(yè)任職近10年的陳韋帆加入公司光刻膠事業(yè)部擔任總經(jīng)理職務。
彤程新材方面，其通過進一步收購股權實現(xiàn)對光刻膠廠商北京科華的控股，目前直接持有北京科華56.56%股權，并與Meng Technology Inc.合計持有北京科華70.53%股權，今年3月開始已經(jīng)對北京科華實現(xiàn)并表。
8月16日，彤程新材公告披露稱，將通過公司全資子公司上海彤程電子材料有限公司在上?；瘜W工業(yè)區(qū)內(nèi)投資建設“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”。
項目總投資為6.99億元，主要研究ArF濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術開發(fā)，通過建立標準化的生產(chǎn)及控制流程，提升高端光刻膠的質量控制水平，實現(xiàn)193nm濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時，逐步建立先進的集成電路及配套材料開發(fā)與應用評價平臺。
廠商最新進展
資本追捧、廠商大力布局，那么，目前國產(chǎn)光刻膠發(fā)展進程到底如何？我們看看各廠商新近披露的公開信息。
晶瑞電材方面，其光刻膠產(chǎn)品由子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。8月1日，晶瑞電材在投資者互動平臺上表示，g/i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等知名大尺寸半導體廠商供貨，KrF光刻膠完成中試，目前已進入客戶測試階段，測試通過后即可進入量產(chǎn)階段。ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，旨在研發(fā)滿足90-28nm芯片制程的ArF光刻膠。
△Source：互動平臺截圖
南大光電方面，7月29日其發(fā)布公告稱，公司作為牽頭單位，承擔的國家科技重大專項（02 專項）“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目通過專家組驗收。寧波南大光電已建成年產(chǎn)25噸ArF（干式和浸沒式）光刻膠產(chǎn)業(yè)化基地，具備進一步擴大生產(chǎn)的能力。不過公告亦提示稱，目前ArF光刻膠產(chǎn)品尚未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。
而據(jù)南大光電7月27日公告信息，寧波南大光電研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過一家存儲芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的客戶認證，相關主要芯片制造企業(yè)的認證工作正在順利推進，為ArF光刻膠的規(guī)模化量產(chǎn)奠定堅實基礎。
△Source：全球半導體觀察，根據(jù)公開信息整理
上海新陽方面，據(jù)其6月30日公告，其自主研發(fā)的KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認證，并成功取得第一筆訂單。8月16日，上海新陽在投資者互動平臺上表示，公司ArF干法光刻膠尚在認證當中。
彤程新材方面，根據(jù)彤程新材8月16日披露的半年報，北京科華半導體光刻膠業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入5647.83萬元，同比增長46.74%；半導體用g/i線光刻膠產(chǎn)品同比增長40.36%；KrF光刻膠產(chǎn)品同比增長94.51%，上半年新增包括KrF光刻膠、高檔i線光刻膠、化學放大型i線光刻膠在內(nèi)的10支產(chǎn)品獲得長江存儲、中芯北方、廣州粵芯、廈門士蘭集科等用戶訂單。
彤程新材表示，2021年下半年，公司將繼續(xù)推進KrF光刻膠及高分辨I線光刻膠的客戶開發(fā)，積極布局14nm及以上工藝節(jié)點用KrF光刻膠產(chǎn)品，而上文也提及，彤程新材正擬投建的“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”。
而徐州博康方面，其官網(wǎng)介紹稱公司產(chǎn)目前已成功開發(fā)出40+個中高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠、ArF干法光刻膠、KrF正負型光刻膠、i線正負型光刻膠及GHI超厚負膠等，但未披露具體量產(chǎn)情況。
產(chǎn)線應用遇冷？
綜合前文來看，目前國內(nèi)主流光刻膠企業(yè)已取得一定進展，可實現(xiàn)量產(chǎn)g線/i線/KrF光刻膠，而ArF光刻膠仍主要處于認證或研發(fā)階段。然而，全球光刻膠技術逐步由g/i線向EUV發(fā)展的技術迭代路線清晰且國外企業(yè)已有ArF產(chǎn)品研發(fā)完成并量產(chǎn)。
彤程新材在半年報中指出，從中國大陸半導體光刻膠產(chǎn)品結構來看，2020年，ArF光刻膠占比40%；KrF光刻膠占比39%；g/i線光刻膠占比20%?？梢姡琄rF和ArF光刻膠需求量快速增長，而目前高分辨率的KrF和ArF光刻膠產(chǎn)品基本出自日本和美國公司。
而前不久在某個“半導體行業(yè)交流”群里，一位證券分析師與國內(nèi)知名晶圓代工廠商一位技術人員的一場討論，似乎引發(fā)了更多人對于國產(chǎn)光刻膠“火熱”背后的“冷思考”。
上文提到，ArF光刻膠在國內(nèi)仍主要處于認證或研發(fā)階段，正如南大光電在公告中所指出的，“ArF光刻膠的復雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風險，不僅需要技術攻關，還需要在應用中進行工藝的改進、完善，這些都會決定ArF光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟效益。”
事實上，國產(chǎn)光刻膠廠商能攻下KrF、ArF已實屬不易，因為面對海外技術封鎖，光刻膠國產(chǎn)化之路走得非常艱難，全球半導體觀察此前的報道《光刻膠國產(chǎn)化的6道坎》一文中有詳細闡述，光刻膠國產(chǎn)化面臨著純度、原材料、專利、規(guī)模等6道坎，其中提到驗證和規(guī)模量產(chǎn)方面的困難。
對于國產(chǎn)光刻膠而言，其國產(chǎn)化之路漫漫、任重而道遠，在這過程中免不了面臨各種爭議、甚至各種“炒作”，正所謂事實勝于雄辯，企業(yè)唯有沉下心來攻克技術難關，才能迎來更多的機會。
