AXCELIS宣布向日廠商發(fā)運功率注入機

/美通社/ -- 半導體行業(yè)離子注入支持解決方案的領先供應商Axcelis Technologies, Inc.（納斯達克股票代碼：ACLS）今天宣布，公司向日本領先的功率設備芯片制造商發(fā)運其Purion XE™高能和Purion M™中等電流Power Series™注入機。這些系統(tǒng)將用于大批量生產(chǎn)基于300mm薄硅晶圓的MOSFET和IGBT設備，以用于汽車和其他功率管理應用。

產(chǎn)品開發(fā)執(zhí)行副總裁Bill Bintz表示：“Purion Power系列的獨特功能，結合功率設備領域的密集注入特性，將賦予Axcelis獨特的條件來從這一市場的增長中受益。這些工具集成了多項功能和工藝控制能力，包括該平臺為功率設備市場提供支持的薄晶圓處理能力。我們期待擴大Purion平臺在日本的業(yè)務范圍，并支持我們客戶實現(xiàn)提高制造能力的目標。”