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壓阻式壓力傳感器的工作原理

2021/03/21
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硬件型號：XGZP8壓阻式壓力傳感器

系統版本：傳感系統

壓阻式壓力傳感器的工作原理

壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。

壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。

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