真空泵有哪幾種

硬件型號：浩海5.0L

系統(tǒng)版本：真空泵系統(tǒng)

真空泵種類有很多，按工作原理可以分為：氣體輸送泵和氣體捕集泵；按真空度可以分為：粗真空度、高真空度和超高真空度。

按工作原理分：

一、氣體輸送泵：

1、變?nèi)菡婵毡?/p>

1）往復(fù)式

2）旋片式：
（1）油封式：旋片、滑閥式、定片式、余擺線式、多室旋片式；
（2）干式螺桿；
（3）液環(huán)式；
（4）羅茨真空泵；

2、動量傳輸泵

1）分子真空泵：牽引分子泵、渦輪分子泵、復(fù)合分子泵；

2）噴射真空泵：液體噴射真空泵、氣體噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵；

3）擴散泵：自凈化擴散泵、分餾式擴散泵；

4）擴散噴射泵；

5）離子輸運泵；

二、氣體捕集泵

1、吸附泵；

2、吸氣劑泵；

3、吸氣劑離子泵：蒸發(fā)離子泵、濺射離子泵；

4、低溫泵；