芯耀
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臺積電、三星與英特爾的先進制程賽打得火熱，盡管紛紛表示已搶進下個制程節(jié)點，但都在 10nm 工藝良品率不理想的難題與痛苦中掙扎過。先進制程的推進，帶來工藝難度與制造成本增加的同時，良率問題也成為一大挑戰(zhàn)，任何細(xì)小錯誤都將導(dǎo)致重新流片，因此檢測、量測愈發(fā)重要，越早發(fā)現(xiàn)就等同更小損失、更大利潤空間。
“為獲取更大的良率與利潤，制程控制在源頭至關(guān)重要。作為全球領(lǐng)先的工藝控制專家，KLA-Tencor 擁有廣泛的產(chǎn)品線可覆蓋整個半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的檢測與量測需求，幫助客戶應(yīng)對不同應(yīng)用、不同市場的挑戰(zhàn)。比如對低功耗、高靠性有高要求的移動設(shè)備，爭取更快的面世時間是贏取市場的最重要因素，這就要求生產(chǎn)過程中的誤差最小化?！盞LA-Tencor Customer Engagement 副總裁 Mark Shirey 在 11 月 10 日于上海舉辦的媒體會上如是說。
KLA-Tencor Customer Engagement 副總裁 Mark Shirey（左），科天副總裁兼科天中國總裁張智安（右）
會上，KLA-Tencor 對其先進工藝方面的產(chǎn)品進展以及在中國的發(fā)展現(xiàn)狀進行了分享。
不能發(fā)現(xiàn)就不能解決問題，不能量測就不能控制
據(jù) IC Insights 最新數(shù)據(jù)，2017 年純晶圓代工市場的營收規(guī)模將成長 7%，但成長動能幾乎全部來自 40nm 以下的先進制程，40nm 以上成熟制程市場成長不足 1%。半導(dǎo)體市場受 AI、大數(shù)據(jù)、云、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)的綜合驅(qū)動，先進制程加速向前推進。
隨著制程微縮與 EUV 的導(dǎo)入，在 7nm、5nm、3nm 工藝節(jié)點，芯片制造商查明產(chǎn)品疊對誤差、線寬關(guān)鍵尺寸不統(tǒng)一與易失效點的起因變得越來越難。Mark Shirey 表示：”不能發(fā)現(xiàn)就不能解決問題，不能量測就不能控制。針對以上三大問題，KLA-Tencor 都有整套應(yīng)對方案?！?/p>
創(chuàng)造更大價值，控制從源頭出發(fā)
KLA-Tencor 最近就推出了五款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對 7nm 以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計節(jié)點設(shè)計，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術(shù)和 EUV 光刻所需的嚴(yán)格工藝寬度。Mark Shirey 表示：“這五款新系統(tǒng)將為客戶提供 KLA-Tencor 最尖端的技術(shù)，以降低由每個晶圓、光罩和工藝步驟所導(dǎo)致的圖案成型誤差，從制程的源頭進行控制，及早發(fā)現(xiàn)問題，創(chuàng)造更大價值。”
圖案成型控制系統(tǒng)包括：
ATL 疊對良測系統(tǒng)和 SpectraFilm F1 薄膜量測系統(tǒng)，針對 FinFET、DRAM、3D NAND 和其他復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的制造提供工藝表征分析和偏移監(jiān)控；
Teron 640e 光罩檢測產(chǎn)品系列和 LMS IPRO7 光罩疊對位準(zhǔn)量測系統(tǒng)可以協(xié)助掩模廠開發(fā)和認(rèn)證 EUV 和先進的光學(xué)光罩；
5D Analyzer X1 先進數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)提供開放架構(gòu)的基礎(chǔ)，以支持晶圓廠量身定制分析和實時工藝控制的應(yīng)用。
在去年的媒體會上，科天副總裁兼科天中國總裁張智安曾多次強調(diào)：近些年來，科天在中國取得超預(yù)期的成長，科天承諾與中國半導(dǎo)體行業(yè)一同成長與發(fā)展。
本此媒體會上，張智安先生分享了科天在進一步本土化方面所做的工作。如今，科天在上海、北京、無錫、武漢等集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模較大的城市設(shè)立了 10 處辦公室，近期又?jǐn)U展了其北京辦公室的規(guī)模，希望以最快的速度響應(yīng)當(dāng)?shù)乜蛻粜枨蟛⒔鉀Q客戶技術(shù)難題。南京、合肥、成都辦公室正在規(guī)劃中，很快將落地并服務(wù)于當(dāng)?shù)丶呻娐废嚓P(guān)廠商。
北京辦公室擴建
“隨著中國半導(dǎo)體市場的加速發(fā)展，其地位變得舉足輕重，本土化成為眾多廠商的戰(zhàn)略關(guān)鍵。KLA-Tencor 技術(shù)方案可更好的支持中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我們希望以更‘貼地氣’的方式服務(wù)于中國客戶，為此 KLA-Tencor 上線了中文網(wǎng)站 www.kla-tencor.cn、建了‘科天國際’微信公關(guān)帳號，可加強與中國客戶的信息技術(shù)共享與互動。我們會持續(xù)投入中國市場，全力支持中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。”張智安先生看好中國市場的發(fā)展，再次表達(dá)了與中國半導(dǎo)體行業(yè)一起成長的愿望。
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