芯耀
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CINNO Research 產(chǎn)業(yè)資訊，根據(jù)韓媒 Limo 報(bào)道，大型半導(dǎo)體設(shè)備廠商 Lam Research 公布了其財(cái)務(wù)新模式－－在 2023 年 -2024 年，把銷售額最大提高至 175 億美元（約人民幣 1,225 億元）。不僅專注于已銷售設(shè)備的服務(wù)業(yè)務(wù)，還力求擴(kuò)大蝕刻和成膜市場、通過加入新市場在 SAM(Served Available Market)上獲得發(fā)展。
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Lam Research 的除了有主力產(chǎn)品蝕刻設(shè)備以外，也在擴(kuò)大 ALD（Atomic Layer Deposition，原子層沉積）等成膜領(lǐng)域的市場占比和 SAM (Served Available Market）（圖片出自：limo）
服務(wù)事業(yè)獲得 40%的增長
在 Lam Research 最新發(fā)布的財(cái)務(wù)模式中，設(shè)想了在 2023 年 -2024 年，WFE（Wafer Fab Equipment，晶元制造設(shè)備）市場規(guī)模達(dá)到 600 億美元（約人民幣 4,200 億元）或者 700 億美元（約人民幣 4,900 億元）。如果是 600 億美元的話，Lam Research 銷售額目標(biāo)為 145 億美元 -155 億美元（約人民幣 1,015 億元 -1,085 億元）；如果是 700 億美元的話，Lam Research 的銷售額目標(biāo)為 165 億美元 -175 億美元（約人民幣 1,155 億元 -1,225 億元）。與 2019 年的實(shí)績相比，預(yù)計(jì)要增加 5-8 倍。
這種財(cái)務(wù)模式的重點(diǎn)在已經(jīng)出售和安裝的設(shè)備業(yè)務(wù)，例如對已出售設(shè)備的改造和維護(hù)、翻新等。且 Lam Research 的目標(biāo)是到 2023 年獲得 40%的銷售額增長，據(jù) Lam Research 表示，從每個(gè) Chamber 的安裝數(shù)量來看，銷售額呈每年增長趨勢，據(jù)說與 2013 年時(shí)間點(diǎn)相比，2019 年增長了 1.5 倍，預(yù)計(jì)未來將會(huì)繼續(xù)增長，且與 2013 年相比，2023 年將會(huì)增長 1.7 倍。?
蝕刻、成膜目標(biāo)市場占比增加到 4%-8%
關(guān)于擴(kuò)大市場份額，Lam Research 的目標(biāo)是到 2023 年占比提高 4%-8%。關(guān)于蝕刻設(shè)備，發(fā)布了一個(gè)新平臺(tái)－－“Sense.i”，這是 20 年來首次對 Chamber 進(jìn)行的徹底更改！
此平臺(tái)推進(jìn)了自我識(shí)別功能等智能化。獲取數(shù)據(jù)并分析，識(shí)別圖案和趨勢，通過機(jī)器學(xué)習(xí)來盡量減少工藝變更、提高生產(chǎn)效率。就生產(chǎn)效率而言，據(jù)說在同一個(gè)處理腔內(nèi)可以提高 50%的生產(chǎn)效率。
關(guān)于成膜設(shè)備，以逐步被先進(jìn)工藝廣泛采用的 ALD（Atomic Layer Deposition，原子層沉積）設(shè)備為中心，謀求擴(kuò)大市場占比和 SAM。關(guān)于具體的新工程，在 DRAM 領(lǐng)域中，取代原來形成 Low-k 膜的熔爐；在 NAND 領(lǐng)域中，取代原來的 Channel Hole 間隙，填充工藝中的 SOD/ 高壓 CVD。在邏輯半導(dǎo)體中，希望在排線工藝中獲得新的客戶產(chǎn)線的認(rèn)證。
EUV 業(yè)務(wù)提出“干蝕”新方案
此外，Lam Research 將積極推動(dòng)客戶采用此前發(fā)布的用于 EUV 光刻的干蝕刻工藝（Dry Resist Process），此工藝未來也會(huì)為擴(kuò)大 SAM 做出貢獻(xiàn)。由于是靈活運(yùn)用成膜技術(shù)形成的干蝕刻，因此與以往的運(yùn)用旋涂 (Spin-on )技術(shù)涂覆液體狀蝕刻膠的工藝完全不同。?與濕法蝕刻相比，不僅可以提高光學(xué)分辨率，而且蝕刻膠和顯影劑的用量最大可以節(jié)約 1/10。Lam Research 與 ASML、imec 建立了戰(zhàn)略性合作伙伴關(guān)系，且已經(jīng)與 4 家領(lǐng)先公司就此技術(shù)簽署了合同，預(yù)計(jì)在 5 年內(nèi)可獲得 15 億美元（約人民幣 105 億元）的銷售額。
