芯耀
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近日，韓國光刻膠供應商東進世美肯(Dongjin Semichem)表示，自研產品已通過三星電子EUV光刻膠可靠性測試。這款光刻膠為雙方合作研發(fā)，打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應商的局面，最快有望明年上半年向產線批量供應。
對于韓國半導體產業(yè)來說，此次EUV光刻膠取得突破是十分振奮人心的。早在2019年，日本出臺了一項政策：日本從2019年7月4日開始限制向韓國出口電視、智能手機中OLED顯示器部件使用的“氟聚酰亞胺”、半導體制造過程中必須使用的“光刻膠”和“高純度氟化氫”等3個品種的材料。當時，日本提供的氟聚酰亞胺產量占全球產能的90%，高純度氟化氫氣體產量占全球產能的70%。韓國集成電路產業(yè)對日本的依賴度很高，三星電子、LG和SK等廠商所需的大多數氟聚酰亞胺和高純度氟化氫都是從日本進口。
日本“限韓令”無疑給韓國集成電路材料自主化敲響了警鐘。
此次韓國供應商EUV光刻膠取得三星電子驗證，是在日本產品幾乎占據全球EUV光刻膠市場、韓國產品線相對落后的情況下實現的。這一成功的背后是韓國政府和產業(yè)界對發(fā)展自主光刻膠產品的支持。三星電子與東進世美肯合作實現EUV光刻膠自研通過驗證，也再次驗證了產業(yè)鏈上下游合作進行產品研發(fā)的可能性。
創(chuàng)道投資咨詢總經理步日欣表示，在突破光刻膠這件事情上，不管從政策層面，還是產業(yè)層面來看，東進世美肯都不會是唯一一家企業(yè)，韓國將會有意識地去培育安全、可控的供應鏈。
東進世美肯成立于1967年，是韓國首家開發(fā)PVC及橡膠發(fā)泡劑的公司。3D NAND領域用的KrF光刻膠為其優(yōu)勢業(yè)務。當前，東進世美肯已在全球建設有十幾家廠房，產品包括光刻膠、剝離液、稀釋劑、SMP漿料、發(fā)泡劑、蝕刻劑、顯影液等。東進世美肯在中國的廠主要生產LCD顯示用的電子材料，其客戶包括中國顯示器大廠京東方。
打破壟斷、自主可控，也是我國對集成電路產業(yè)建設的期待。
步日欣在接受《中國電子報》記者采訪時表示，光刻膠屬于芯片制造流程中最核心的材料，光刻膠的質量關系著整個產線產品的良率，一款光刻膠能夠進入下游產線，門檻極高。因此下游的晶圓制造廠一般會對光刻膠進行嚴格的把控，以防止出現“光刻膠污染”問題，影響產線生產和產品良率。
綜合來看，光刻膠這一細分領域技術難度高、市場規(guī)模有限，而我國企業(yè)在光刻膠領域中布局的產品仍多為中端和低端產品。賽迪顧問集成電路產業(yè)研究中心總經理滕冉向《中國電子報》記者表示，東進世美肯與三星電子此次合作EUV光刻膠的成功，為我國上下游產業(yè)化協(xié)同發(fā)展提供了啟示：芯片制造廠商、應用端都要有意識地為國內產業(yè)鏈企業(yè)提供驗證機會，要以國產光刻膠產品在生產線上的應用為核心，推進國內材料、制造企業(yè)間的合作，實現產線聯(lián)合研發(fā)，破除國產光刻膠的“低端化”困境，由此提高我國集成電路企業(yè)競爭力，進而打破國際大廠壟斷局面。
作者丨姬曉婷
編輯丨連曉東
美編丨馬利亞
