白光干涉中,通過(guò)樣品臺(tái)的移動(dòng),實(shí)現(xiàn)機(jī)械相移技術(shù)
一、基本原理 在白光干涉儀中,光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后,通過(guò)分光棱鏡被分成兩束相干光:一束作為參考光,經(jīng)過(guò)固定的光路到達(dá)干涉儀的接收屏;另一束作為待測(cè)光,經(jīng)過(guò)樣品臺(tái)后被反射或透射,再與參考光相遇產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。干涉條紋的形成取決于兩束光的相位差,而相位差則與它們經(jīng)過(guò)的光程差有關(guān)。 通過(guò)移動(dòng)樣品臺(tái),可以改變待測(cè)光線經(jīng)過(guò)的路徑長(zhǎng)度,從而改變光程差和相位差。這種相位調(diào)制會(huì)導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)或變化,通過(guò)測(cè)