CVD以外的半導(dǎo)體前道成膜設(shè)備供應(yīng)商有哪些?!
聊起半導(dǎo)體前道成膜設(shè)備,多數(shù)人第一反應(yīng)是CVD設(shè)備(Chemical Vapor Deposition 化學(xué)氣相沉積),其次才是PVD,而且一般交流中的PVD也往往特指磁控濺射半導(dǎo)體制造工藝復(fù)雜,其實(shí)所用到的成膜鍍膜技術(shù)方法也很多,所以我今天也發(fā)布一個(gè)CVD技術(shù)以外的各種成膜設(shè)備的匯總,以及相應(yīng)全球供應(yīng)商的名單。供大家參考麻煩