芯耀
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12月25日，由張江高科、全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)智庫(kù)芯謀研究聯(lián)合舉辦的“第八屆張江高科·芯謀研究集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)袖峰會(huì)”設(shè)備材料論壇分論壇在上海浦東召開。
晶盛機(jī)電董事長(zhǎng)曹建偉圍繞著”打造半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)“的話題發(fā)表了演講。晶盛機(jī)電成立于2006年，2012年在創(chuàng)業(yè)板上市，是一家優(yōu)秀的本土半導(dǎo)體材料裝備企業(yè)。半導(dǎo)體材料主要是硅、藍(lán)寶石、碳化硅。其中，硅占95%是最主流的半導(dǎo)體材料，其次是藍(lán)寶石，第三是碳化硅。
曹建偉認(rèn)為，未來碳化硅一定會(huì)取代藍(lán)寶石，變成全球第二大半導(dǎo)體材料。目前，晶盛機(jī)電在半導(dǎo)體大硅片設(shè)備領(lǐng)域，已實(shí)現(xiàn)了8-12英英寸各個(gè)環(huán)節(jié)的設(shè)備全覆蓋，涉及晶體生長(zhǎng)、切片、拋光、CVD?等設(shè)備并實(shí)現(xiàn)批量銷售。在藍(lán)寶石襯底材料方面，晶盛機(jī)電通則通過國(guó)產(chǎn)化裝備直接做材料。
目前，公司藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)工藝和技術(shù)已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平：300Kg?級(jí)及以上藍(lán)寶石晶體已經(jīng)可以規(guī)模化量產(chǎn)，而且成功生長(zhǎng)出全球領(lǐng)先的700Kg?級(jí)藍(lán)寶石晶體。在碳化硅領(lǐng)域，晶盛機(jī)電正在圍繞著6-8英寸襯底材料、外延設(shè)備以及后端裝備做布局。在晶盛機(jī)電布局的三大基地中，上虞裝備園區(qū)是裝備制造基地，負(fù)責(zé)硅、藍(lán)寶石、碳化硅等晶體生長(zhǎng)及加工裝備，具有光伏硅片制造全產(chǎn)業(yè)鏈裝備及智能化工廠建設(shè)能力。杭州裝備園區(qū)是另一大裝備制造基地，該基地主要以CVD技術(shù)為核心，生產(chǎn)應(yīng)用于先進(jìn)制程、功率半導(dǎo)體的外延等裝備。同時(shí)，晶盛機(jī)電還在銀川、呼和浩特、上虞材料園區(qū)布局了材料制造基地，主要圍繞藍(lán)寶石、碳化硅和石英坩堝材料而建。
曹建偉認(rèn)為，12英寸大硅片裝備方面對(duì)于國(guó)內(nèi)廠商來說存在著巨大的機(jī)遇。根據(jù)公開數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)，12英寸大硅片將在2023年擴(kuò)產(chǎn)至135萬片/月，潛在擴(kuò)產(chǎn)將會(huì)達(dá)到278萬片/月，總計(jì)會(huì)有525萬片/月的市場(chǎng)規(guī)模。但受到出口管制的影響，國(guó)內(nèi)硅片廠商很難買到最高端裝備，進(jìn)而會(huì)影響中國(guó)在12英寸大硅片市場(chǎng)上的表現(xiàn)，因此，在這種情況下設(shè)備國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行。從2016年開始，晶盛機(jī)電便開始圍繞12英英寸加工設(shè)備進(jìn)行布局。
目前，晶盛機(jī)電已經(jīng)在晶體生長(zhǎng)、切片、拋光、外延等環(huán)節(jié)已實(shí)現(xiàn)全覆蓋，是國(guó)內(nèi)唯一能規(guī)?；圃斓钠髽I(yè)。但對(duì)于半導(dǎo)體大硅片產(chǎn)業(yè)來說，未來的國(guó)產(chǎn)化之路依舊存在著挑戰(zhàn)。曹建偉表示：“輔料耗材產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化十分關(guān)鍵。輔料耗材不僅占據(jù)了生產(chǎn)成本的大多數(shù)，且被國(guó)外企業(yè)高度壟斷，這能成為“卡脖子”問題。
未來中國(guó)硅片公司要具有國(guó)際化競(jìng)爭(zhēng)能力，耗材的成本競(jìng)爭(zhēng)力方面存在著很大挑戰(zhàn)，但目前，國(guó)內(nèi)國(guó)產(chǎn)耗材開發(fā)，投入力量和資源較少，進(jìn)度不夠快?！?2英寸大硅片所需要的12英寸檢測(cè)、清洗設(shè)備也十分關(guān)鍵。在檢測(cè)設(shè)備方面，國(guó)內(nèi)12英寸檢測(cè)設(shè)備剛起步，需要設(shè)備廠商和客戶之間加強(qiáng)合作。清洗設(shè)備市場(chǎng)相對(duì)較小，單片式最終清洗機(jī)晶盛配套的若銘心已經(jīng)滿足要求，槽式最終清洗機(jī)在制造的過程中有很大成本優(yōu)勢(shì)，但最終槽式清洗機(jī)的國(guó)產(chǎn)進(jìn)度較慢。半導(dǎo)體材料裝備市場(chǎng)既面臨挑戰(zhàn)，也存在機(jī)遇。近年來，晶盛機(jī)電開始在智能化方面進(jìn)行布局。
曹建偉認(rèn)為，與國(guó)外廠商競(jìng)爭(zhēng)，跟隨不是永久之道，最終還是要?jiǎng)?chuàng)新。在裝備智能化方面，國(guó)內(nèi)與國(guó)外企業(yè)處于同一水平線上，國(guó)內(nèi)企業(yè)可以選擇在智能化方向上進(jìn)行創(chuàng)新。舉例來說，單晶爐作為硅片工廠中設(shè)備數(shù)量最大，也是最核心的設(shè)備，其智能化水平是整個(gè)硅片工廠的核心。采用智能拉晶系統(tǒng)，可以進(jìn)一步提高設(shè)備OEE水平，提升晶體品質(zhì)，降低制造成本。為了助力12英寸硅片的發(fā)展，晶盛機(jī)電投資8億元，正在建設(shè)12英寸大硅片設(shè)備測(cè)試中心。
曹建偉表示“晶盛在國(guó)產(chǎn)大硅片設(shè)備目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了0到1，在1-n過程中如何去創(chuàng)新、超越競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，讓國(guó)內(nèi)大硅片產(chǎn)業(yè)有后發(fā)優(yōu)勢(shì)，還有很多工作需要提前考慮和布局，晶盛機(jī)電建立設(shè)備測(cè)試中心的初心是進(jìn)行大硅片設(shè)備馬拉松測(cè)試、新設(shè)備、新工藝的測(cè)試，加快創(chuàng)新過程，提升客戶的競(jìng)爭(zhēng)力。
同時(shí)，助力其他國(guó)產(chǎn)設(shè)備、國(guó)產(chǎn)化耗材、零部件的測(cè)試，解決產(chǎn)業(yè)的卡脖子環(huán)節(jié)?！毕蛑蛟彀雽?dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)，發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)的目標(biāo)，晶盛機(jī)電希望能用創(chuàng)新賦能中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展！
