光刻機(jī)

• 電子束光刻機(jī)將用于芯片量產(chǎn)？

  近日，一些媒體報(bào)道了英國部署電子束光刻機(jī)相關(guān)的新聞，并號稱打破ASML的EUV技術(shù)壟斷。部分報(bào)道甚至號稱這是全球第二臺電子束光刻機(jī)，能繞過ASML。實(shí)際上當(dāng)前沒有任何信息表面該電子束曝光機(jī)可以用于5nm制程的芯片量產(chǎn)的光刻環(huán)節(jié)。在這些媒體的報(bào)道中，英國似乎已經(jīng)拳打ASML，腳踢EUV了。那事實(shí)真的如此嗎？實(shí)際情況到底如何呢？

  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫

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  05/28 15:14

  光刻機(jī) 光刻技術(shù)

  
• 揭秘ASML如何生產(chǎn)“天價(jià)光刻機(jī)”？

  在荷蘭一處大型實(shí)驗(yàn)室的嚴(yán)密大門之后，一臺機(jī)器正徹底革新微芯片的制造模式 —— 這便是 ASML 耗時(shí)近十年研發(fā)的高數(shù)值孔徑（High NA）光刻機(jī)。這臺設(shè)備造價(jià)超 4 億美元，堪稱全球最先進(jìn)、最昂貴的芯片制造設(shè)備。

  國芯制造

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  05/27 08:46

  ASML 光刻機(jī)

  

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