等離子體

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            等離子體(plasma)又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運(yùn)動(dòng)主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體，利用經(jīng)過巧妙設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)可以捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間、空間物理、地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提供了新的技術(shù)和工藝。等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成，分子由原子構(gòu)成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。當(dāng)被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，就像下課后的學(xué)生跑到操場(chǎng)上隨意玩耍一樣。電子離開原子核，這個(gè)過程就叫做“電離”。這時(shí)，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的

            等離子體(plasma)又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運(yùn)動(dòng)主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體，利用經(jīng)過巧妙設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)可以捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間、空間物理、地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提供了新的技術(shù)和工藝。等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成，分子由原子構(gòu)成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。當(dāng)被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，就像下課后的學(xué)生跑到操場(chǎng)上隨意玩耍一樣。電子離開原子核，這個(gè)過程就叫做“電離”。這時(shí)，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的收起

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            • 通快霍廷格電子攜前沿等離子體電源解決方案亮相SEMICON China 2025
              通快霍廷格電子將于3月26日-28日亮相SEMICON China 2025，展示其針對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域的等離子體電源產(chǎn)品、前沿解決方案和相關(guān)技術(shù)。（通快霍廷格電子展臺(tái)：T2館T2203） 通快霍廷格電子是世界領(lǐng)先的等離子體電源制造商，旗下產(chǎn)品有多款專用于沉積和干法刻蝕工藝的優(yōu)質(zhì)等離子體電源，在電源領(lǐng)域擁有一百多年的經(jīng)驗(yàn)積累。在半導(dǎo)體制造中，通快霍廷格電子的等離子射頻和直流電源在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積
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            • 等離子體為什么會(huì)發(fā)光？
              什么是等離子體？等離子體，英文名稱plasma，是物質(zhì)的第四態(tài)，其他三態(tài)有固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域一般是氣體被電離后的狀態(tài)，又被稱為‘電漿’，具有帶電性和流動(dòng)性的特點(diǎn)。
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            • 射頻電源的頻率與等離子體能量，密度的關(guān)系？
              學(xué)員問：等離子刻蝕機(jī)臺(tái)的頻率有13.56MHz，2.45GHz等，頻率的大小的不同會(huì)對(duì)造成什么影響？該怎么選用。射頻電源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蝕、去膠、PVD、干法清洗等設(shè)備中，起到激發(fā)等 離子體、選擇刻蝕方向等作用。
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