什么是晶圓電鍍的電化學(xué)極化？

在金屬電沉積過(guò)程中中，如果因?yàn)槲镔|(zhì)遷移緩慢而造成的陰極極化，即為上期所講的濃差極化；如果是因?yàn)槿珜匐x子在電極表面放電遲緩而產(chǎn)生的陰極極化，則為陰極電化學(xué)極化。

什么是極化？

極化=實(shí)際電位?平衡電位

極化的本質(zhì)是：電極反應(yīng)能力不足，無(wú)法匹配你想施加的電流 → 電位被迫偏離 → 電能“損耗”在電位偏移上。

電化學(xué)極化產(chǎn)生的原因？

1，金屬離子“本性”放電困難

該金屬離子的電化學(xué)本性決定了它在陰極上的放電（還原）反應(yīng)本身就慢。

舉例：

銅（Cu2?）相對(duì)較容易放電；

鋅（Zn2?）、鎳（Ni2?）則更難 → 需要更大的電位偏移（極化）來(lái)驅(qū)動(dòng)反應(yīng)。

2，電極表面存在“阻擋層”

金屬離子必須穿過(guò)障礙才能在陰極（晶圓）上放電。而這層阻擋層通常是電鍍添加劑造成的。添加劑吸附在陰極（晶圓）表面，會(huì)在陰極表面排列成有序的“單分子層”或“多層阻擋層”。

金屬離子（如 Ni2?）在還原之前，必須穿透這一層分子屏障；這就人為減慢了離子放電速率?→ 增大了電化學(xué)極化。

如果阻擋層稀疏，離子還能穿透較快；如果添加劑濃度高、吸附密度高 → 離子放電速度大幅下降 → 極化電位負(fù)移更大

為什么要“故意”人為引入電化學(xué)極化？

好處：1，抑制結(jié)晶速度 2，增強(qiáng)光亮效果 ? 3，整平低凹區(qū)域 4，降低雜質(zhì)共沉積

如有需要1.2L全套微型電鍍槽，可聯(lián)系Tom