晶圓出貨時如何儲存與運(yùn)輸?
知識星球里的學(xué)員問:晶圓在晶圓廠完成全部工序后,存儲和運(yùn)輸有哪些特別的要求,是否需要特殊環(huán)境包裝呢?存儲一般是放在氮?dú)夤窭?,氮?dú)夤裢ǖ挠懈呒兊獨(dú)猓业獨(dú)夤窨梢钥刂茲穸扰c溫度,濕度在20-24℃,濕度30%-50%,具體要根據(jù)現(xiàn)場情況來定。??運(yùn)輸一般需要將晶圓放在晶圓盒中,晶圓盒會放在防靜電的袋子里,袋子里會被抽真空,之后裝晶圓盒的袋子會放入箱子中,箱子中會有軟墊等緩沖材料保護(hù),當(dāng)然這些在無塵車間完成的。如果有條件